[发明专利]基于非单晶衬底的GaN基LED外延片有效
申请号: | 201310256126.0 | 申请日: | 2013-06-25 |
公开(公告)号: | CN103325893A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 罗毅;王健;汪莱;郝智彪;韩彦军;熊兵 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/32 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王莹 |
地址: | 100084 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于非单晶衬底的GaN基LED外延片,其包括非单晶衬底(1)、结晶过渡结构(2)、n-GaN层(3)、发光层(4)和p-GaN(5);所述的非单晶衬底是可用于大面积生产的非单晶衬底;所述的n-GaN层、发光层和p-GaN是采用低温外延生长技术制备的GaN基外延层。根据本发明提供的GaN基LED外延片,其可突破单晶衬底尺寸限制,可实现大面积的GaN基面光源和主动发光的平板显示器件。 | ||
搜索关键词: | 基于 非单晶 衬底 gan led 外延 | ||
【主权项】:
一种基于非单晶衬底的GaN基LED外延片,其特征在于:包括非单晶衬底(1)、结晶过渡结构(2)、n‑GaN层(3)、发光层(4)和p‑GaN(5);所述的非单晶衬底(1)为用于大面积生产的非单晶衬底;所述的n‑GaN层(3)、发光层(4)和p‑GaN(5)采用低温外延生长技术制备的GaN基外延层。
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