[发明专利]一种改良西门子法还原尾气回收系统氢气的回收净化工艺

摘要

一种改良西门子法还原尾气回收系统氢气的回收净化工艺，是在原生产工艺的基础上，将送入氢气压缩机的气体，压缩到1.8MPaG后，进入压缩机排气罐，从压缩机排气罐出来经气体交换器换热到-29℃—-31℃后，进入HCL吸收塔；HCL吸收塔用HCL精馏塔回收的氯硅烷釜液吸收氢气中的HCL，来自HCL精馏塔的釜液经釜液泵加压至1.8MPaG后，一部分用HCL精馏塔釜液液位调节送出界外，作为回收的氯硅烷，另一部分釜液首先经液体交换器换热后，进入液体急冷器，用R22冷却到-46℃进入HCL吸收塔塔顶作为吸收液；塔顶氢气经气体交换器换热后,直接送至还原车间；对HCL吸收塔系统中操作及工艺参数的修改，除去了氢气中大量的HCL和氯硅烷，保证了回收氢气的纯度。

主权项

一种改良西门子法还原尾气回收系统氢气的回收净化工艺，是将还原车间经冷却至200℃的还原炉出口气体，经过第一步尾气冷却器，第二步氢气急冷器，第三步乙二醇冷冻水换热器和第四步尾气氟利昂冷却器的冷却，除去气体中的氯硅烷，氯硅烷用氯硅烷进料泵送入HCL精馏塔；冷却后的氢气经过尾气热交换器后，进入压缩机吸入口缓冲罐，压缩机吸入口缓冲罐出来的气体进入氢气压缩机，经氢气压缩机压缩到1.5MPaG后，进入压缩机排气罐，从压缩机排气罐出来经气体交换器换热到－22℃左右后，进入HCL吸收塔；HCL吸收塔用HCL精馏塔回收的氯硅烷釜液吸收氢气中的HCL，来自HCL精馏塔的釜液经釜液泵加压后，一部分用HCL精馏塔釜液液位调节送出界外，作为回收的氯硅烷，另一部分釜液首先经液体交换器换热后，进入液体急冷器，用R22冷却到‑40℃进入HCL吸收塔塔顶作为吸收液；塔顶氢气经气体交换器换热后,送至吸附塔，经净化成合格氢气后送至还原车间，其特征在于：压缩机吸入口缓冲罐出来的气体进入氢气压缩机，经氢气压缩机压缩到1.8MPaG后，进入压缩机排气罐，从压缩机排气罐出来经气体交换器换热到－29℃—－31℃后，进入HCL吸收塔；HCL吸收塔用HCL精馏塔回收的氯硅烷釜液吸收氢气中的HCL，来自HCL精馏塔的釜液经釜液泵加压到1.8MPaG后，一部分用HCL精馏塔釜液液位调节送出界外，作为回收的氯硅烷，另一部分釜液首先经液体交换器换热后，进入液体急冷器，用R22冷却到‑46℃进入HCL吸收塔塔顶作为吸收液；塔顶氢气经气体交换器换热后,直接送至还原车间进行 多晶硅的生产。