[发明专利]一种改良西门子法还原尾气回收系统氢气的回收净化工艺无效
| 申请号： | 201310255044.4 | 申请日： | 2013-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN103382019A | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 潘玺;燕军;崔建平 | 申请（专利权）人： | 内蒙古同远企业管理咨询有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B3/50 | 分类号： | C01B3/50;C01B33/021;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京世誉鑫诚专利代理事务所(普通合伙) 11368 | 代理人： | 孙国栋 |
| 地址： | 017000 内蒙古自治*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 改良 西门子 还原 尾气 回收 系统 氢气 净化 工艺 | ||
1.一种改良西门子法还原尾气回收系统氢气的回收净化工艺，是将还原车间经冷却至200℃的还原炉出口气体，经过第一步尾气冷却器，第二步氢气急冷器，第三步乙二醇冷冻水换热器和第四步尾气氟利昂冷却器的冷却，除去气体中的氯硅烷，氯硅烷用氯硅烷进料泵送入HCL精馏塔；冷却后的氢气经过尾气热交换器后，进入压缩机吸入口缓冲罐，压缩机吸入口缓冲罐出来的气体进入氢气压缩机，经氢气压缩机压缩到1.5MPaG后，进入压缩机排气罐，从压缩机排气罐出来经气体交换器换热到－22℃左右后，进入HCL吸收塔；HCL吸收塔用HCL精馏塔回收的氯硅烷釜液吸收氢气中的HCL，来自HCL精馏塔的釜液经釜液泵加压后，一部分用HCL精馏塔釜液液位调节送出界外，作为回收的氯硅烷，另一部分釜液首先经液体交换器换热后，进入液体急冷器，用R22冷却到-40℃进入HCL吸收塔塔顶作为吸收液；塔顶氢气经气体交换器换热后,送至吸附塔，经净化成合格氢气后送至还原车间，其特征在于：压缩机吸入口缓冲罐出来的气体进入氢气压缩机，经氢气压缩机压缩到1.8MPaG后，进入压缩机排气罐，从压缩机排气罐出来经气体交换器换热到－29℃—－31℃后，进入HCL吸收塔；HCL吸收塔用HCL精馏塔回收的氯硅烷釜液吸收氢气中的HCL，来自HCL精馏塔的釜液经釜液泵加压到1.8MPaG后，一部分用HCL精馏塔釜液液位调节送出界外，作为回收的氯硅烷，另一部分釜液首先经液体交换器换热后，进入液体急冷器，用R22冷却到-46℃进入HCL吸收塔塔顶作为吸收液；塔顶氢气经气体交换器换热后,直接送至还原车间进行多晶硅的生产。
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