[发明专利]一种基于压电陶瓷扫描器的样品移动平台及其控制方法无效
申请号: | 201310252660.4 | 申请日: | 2013-06-24 |
公开(公告)号: | CN103336146A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 韩雄;李立强 | 申请(专利权)人: | 苏州海兹思纳米科技有限公司 |
主分类号: | G01Q30/00 | 分类号: | G01Q30/00 |
代理公司: | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人: | 史霞 |
地址: | 215000 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于压电陶瓷管的样品移动平台及其控制方法,所述样品移动平台连接于所述压电陶瓷管(5)的上方,其中所述样品移动平台包括,磁钢(9),磁性材料,与所述压电陶瓷管(5)连接;基座(8),铁质材料,位于所述磁钢(9)上方,所述基座(8)受所述磁钢(9)磁力作用紧贴于所述磁钢(9)上表面;样品基片(7),轻量型铁质薄片,位于所述基座(8)上方,受所述磁钢(9)磁性吸引力作用紧贴于所述基座(8)表面;其中,所述样品(6)粘接于所述样品基片(7)的上表面;所述基座(8)与所述样品基片(7)相接触面均为光滑面;所述基座(8)与所述磁钢(9)接触面为粗糙面。所述样品移动平台控制简单、易操作。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 压电 陶瓷 扫描器 样品 移动 平台 及其 控制 方法 | ||
【主权项】:
一种基于压电陶瓷管的样品移动平台,所述样品移动平台连接于所述压电陶瓷管(5)的上方,其特征在于,所述样品移动平台包括,磁钢(9),磁性材料,与所述压电陶瓷管(5)连接;基座(8),铁质材料,位于所述磁钢(9)上方,所述基座(8)受所述磁钢(9)磁力作用紧贴于所述磁钢(9)上表面;样品基片(7),轻量型铁质薄片,位于所述基座(8)上方,受所述磁钢(9)磁性吸引力作用紧贴于所述基座(8)表面;其中,所述样品(6)粘接于所述样品基片(7)的上表面;所述基座(8)与所述样品基片(7)相接触面均为光滑面;所述基座(8)与所述磁钢(9)接触面为粗糙面。
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