[发明专利]一种发光显示结构的制作方法无效
申请号: | 201310247600.3 | 申请日: | 2013-06-20 |
公开(公告)号: | CN103325643A | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 佘峻聪;李铎;邓少芝;许宁生 | 申请(专利权)人: | 中山大学 |
主分类号: | H01J9/20 | 分类号: | H01J9/20 |
代理公司: | 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 | 代理人: | 华辉;张玲春 |
地址: | 510275 广东省广州市海珠区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种发光显示结构的制作方法。采用表面不导电的基片作为衬底,采用微加工技术和镀膜技术在基片上依次制作种子层、电极层和荧光材料层堆叠而成的平行阵列图案。采用种子层诱导生长技术,在图案侧壁生长场发射材料团簇;对阵列中的平行排列图案施加偏压,诱导位于低压端(阴极)侧壁的场发射材料团簇发射电子;发射电子可轰击高压端(阳极)表面的荧光材料层,实现发光显示功能。本发明获得的发光显示结构具有制备工艺简单、阴阳极间距精确可控以及阴阳极可实现自对准等优点,可避免立体式发光显示结构微加工工艺复杂、对准精度要求高的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 发光 显示 结构 制作方法 | ||
【主权项】:
一种发光显示结构的制作方法,其特征在于包括以下步骤:a)采用表面不导电的衬底作为基片;b)结合微加工图形化技术以及镀膜技术在基片上制作种子层、电极层和荧光材料层堆叠而成的平行阵列图案;c)在图案侧壁生长场发射材料团簇;d)对阵列中的平行图案施加偏压,诱导位于低压端(阴极)侧壁的场发射材料团簇发射电子;e)发射电子可轰击高压端(阳极)表面的荧光材料层,实现发光显示。
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