[发明专利]静电驱动压电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法有效
| 申请号： | 201310245384.9 | 申请日： | 2013-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN103344227A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 张卫平;成宇翔;张弓;许仲兴;唐健;陈文元;汪濙海 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01C25/00 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种静电驱动压电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法，包括：一个不带释放孔的圆盘振子，一个圆柱形的支撑柱，分布于基板上的驱动电极、平衡电极和隔离电极，以及分布于圆盘振子上的检测电极。所述检测电极分布于所述圆盘振子上；所述驱动电极、所述平衡电极和所述隔离电极呈圆周分布于所述基板上并位于所述圆盘振子下方，同时与所述圆盘振子平行且有一间隙。该陀螺利用压电效应的检测原理，提取形变信号。同时利用非接触式的平衡电极给下电极施加电势，使得陀螺结构得到了优化。该微陀螺的制作方法采用MEMS加工工艺，制作工艺简单，可靠性高，能保证较低的成本和较高的成品率。本发明体积小，结构简单，适用于批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动 压电 检测 声波 谐振 三轴微 陀螺 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种静电驱动压电检测体声波谐振三轴微陀螺，其特征在于：它包括不带释放孔的压电圆盘振子，圆柱形的支撑柱，基板，驱动电极，平衡电极，隔离电极以及检测电极，其中：所述圆盘振子通过所述圆柱形的支撑柱固定在基板上，且所述圆盘振子垂直于所述基板的z轴；所述驱动电极、所述平衡电极和所述隔离电极呈圆周分布于所述基板上并位于所述圆盘振子下方，同时与所述圆盘振子平行且有一间隙；所述驱动电极、所述平衡电极和所述隔离电极按照两个平衡电极、一个隔离电极、两个驱动电极、一个隔离电极、两个平衡电极的排列顺序交叉循环分布；所述检测电极分布于所述圆盘振子上。
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