[发明专利]一种间隔片控制装置和方法有效
| 申请号： | 201310245120.3 | 申请日： | 2013-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN104241165B | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 朱鸷;梁德志 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种间隔片控制装置和方法，包括圆线旋转弹簧、内后棘轮、内前棘轮和外棘轮；其中，所述外棘轮有一受力面；所述内后棘轮和内前棘轮在所述外棘轮中；所述内前棘轮靠近所述外棘轮的受力面；所述圆线旋转弹簧、所述内后棘轮和所述内前棘轮依序排列。当有一外力F推动外棘轮的受力面，通过圆线旋转弹簧、内后棘轮、内前棘轮和外棘轮实现间隔片控制装置带动间隔片推进和自动缩回的两个方向的运动。此外，通过固定件和弹簧导向限位件将间隔片在自动推进和自动缩回的过程中限制在极限范围内，避免对基片产生损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 间隔 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种间隔片控制装置，其特征在于，包括：圆线旋转弹簧、内后棘轮、内前棘轮和外棘轮；其中，所述外棘轮有一受力面；所述内后棘轮和内前棘轮在所述外棘轮中；所述内前棘轮靠近所述外棘轮的受力面；所述圆线旋转弹簧、所述内后棘轮和所述内前棘轮依序排列；还包括：固定件，所述圆线旋转弹簧、内后棘轮、内前棘轮和外棘轮均在所述固定件中；所述固定件与一夹具固定连接；还包括：弹簧导向限位件，所述弹簧导向限位件置于所述圆线旋转弹簧中间；在所述内后棘轮向前推动压缩所述圆线旋转弹簧时，所述弹簧导向限位件压缩圆线旋转弹簧直至与所述固定件接触，进行机械限位。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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