[发明专利]一种有机薄膜功能层的制备装置及其方法在审
申请号: | 201310242644.7 | 申请日: | 2013-06-17 |
公开(公告)号: | CN104241533A | 公开(公告)日: | 2014-12-24 |
发明(设计)人: | 胡子阳;诸跃进 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48 |
代理公司: | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人: | 袁忠卫 |
地址: | 315211 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种有机薄膜功能层的制备装置,其特征在于:包括溶液池、工作滚筒,源滚筒、辅助滚筒、回收滚筒,所述多个滚筒均通过支架固定,在辅助滚筒和回收滚筒之间设有一加热控制设备。浸入到溶液的柔性导电衬底在工作滚筒的带动下竖直向上运动,溶剂蒸发,到达辅助滚筒使溶液固化成膜,经过加热控制设备进一步蒸发掉残余的溶剂,并对薄膜进行退火,最后经过退火处理的柔性导电衬底被回收滚筒缠绕收回。本发明的制备装置及其方法实现了快速的薄膜功能层制备,且薄膜的致密性好。实现了薄膜功能层的大面积制备,该方法与柔性导电衬底和卷对卷技术都相兼容,且源材料使用率极高,设计的装置简单,操作方便。 | ||
搜索关键词: | 一种 有机 薄膜 功能 制备 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
一种有机薄膜功能层的制备装置,其特征在于:包括一溶液池(1)以及位于溶液池(1)正上方的工作滚筒(3),所述工作滚筒(3)的上方一侧具有一源滚筒(4),工作滚筒(3)上方具有一辅助滚筒(5),辅助滚筒(5)的一侧设有一回收滚筒(7),所述多个滚筒均通过支架(8)固定,需要加工的柔性导电衬底(9)依次从源滚筒(4)开始绕至工作滚筒(3),然后绕过辅助滚筒(5)连接至回收滚筒(7),并且在辅助滚筒(5)和回收滚筒(7)之间设有一加热控制设备(6)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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