[发明专利]一种有机薄膜功能层的制备装置及其方法在审

专利信息
申请号: 201310242644.7 申请日: 2013-06-17
公开(公告)号: CN104241533A 公开(公告)日: 2014-12-24
发明(设计)人: 胡子阳;诸跃进 申请(专利权)人: 宁波大学
主分类号: H01L51/48 分类号: H01L51/48
代理公司: 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 代理人: 袁忠卫
地址: 315211 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 一种有机薄膜功能层的制备装置,其特征在于:包括溶液池、工作滚筒,源滚筒、辅助滚筒、回收滚筒,所述多个滚筒均通过支架固定,在辅助滚筒和回收滚筒之间设有一加热控制设备。浸入到溶液的柔性导电衬底在工作滚筒的带动下竖直向上运动,溶剂蒸发,到达辅助滚筒使溶液固化成膜,经过加热控制设备进一步蒸发掉残余的溶剂,并对薄膜进行退火,最后经过退火处理的柔性导电衬底被回收滚筒缠绕收回。本发明的制备装置及其方法实现了快速的薄膜功能层制备,且薄膜的致密性好。实现了薄膜功能层的大面积制备,该方法与柔性导电衬底和卷对卷技术都相兼容,且源材料使用率极高,设计的装置简单,操作方便。
搜索关键词: 一种 有机 薄膜 功能 制备 装置 及其 方法
【主权项】:
一种有机薄膜功能层的制备装置,其特征在于:包括一溶液池(1)以及位于溶液池(1)正上方的工作滚筒(3),所述工作滚筒(3)的上方一侧具有一源滚筒(4),工作滚筒(3)上方具有一辅助滚筒(5),辅助滚筒(5)的一侧设有一回收滚筒(7),所述多个滚筒均通过支架(8)固定,需要加工的柔性导电衬底(9)依次从源滚筒(4)开始绕至工作滚筒(3),然后绕过辅助滚筒(5)连接至回收滚筒(7),并且在辅助滚筒(5)和回收滚筒(7)之间设有一加热控制设备(6)。
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