[发明专利]感测器件及相关操作方法有效
| 申请号： | 201310235087.6 | 申请日： | 2013-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN103512586B | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 凯文·R·富盖特;爱德华·W·卡斯滕斯;佩奇·M·霍尔姆;迪安·W·米勒 | 申请（专利权）人： | 超大规模集成电路技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01D3/028 | 分类号： | G01D3/028 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 邵亚丽 |
| 地址： | 美国特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及感测器件及相关操作方法。装置、系统、以及方法被提供给感测器件。一种示例性感测器件（102）包括感测布置，该感测布置在衬底上以感测第一属性；加热布置（114）；以及控制系统（116），该控制系统（116）耦合到第一感测布置和加热布置（114），以激活加热布置（114）加热第一感测布置，以及在从第一感测布置获得第一属性的一个或多个测量值时停用加热布置。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 相关 操作方法 | ||
【主权项】：
一种感测器件，包括：第一感测布置，所述第一感测布置在第一衬底上以感测第一属性；加热布置；温度感测布置；以及控制系统，所述控制系统耦合到所述第一感测布置、所述加热布置和所述温度感测布置，以激活所述加热布置加热所述第一衬底，以及在从所述第一感测布置获得所述第一属性的一个或多个测量值时停用所述加热布置；其中在获得所述第一属性的所述一个或多个测量值的同时，从所述温度感测布置获得一个或多个测量的温度值；其中一个或多个测量值中的第一测量值与从所述温度感测布置获得的第一温度值相应，并且一个或多个测量值中的第二测量值与从所述温度感测布置获得的第二温度值相应。
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