[发明专利]陀螺仪设备和制造微机电陀螺仪的方法有效
| 申请号： | 201310232722.5 | 申请日： | 2006-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN103363978A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 法罗哈·阿亚泽;胡尔·乔哈里 | 申请（专利权）人： | 佐治亚科技研究公司 |
| 主分类号： | G01C19/5698 | 分类号： | G01C19/5698 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 康建峰;吴琼 |
| 地址： | 美国佐*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种陀螺仪设备和制造微机电陀螺仪的方法。该陀螺仪设备包括：基底，所述基底具有平面；体声波谐振器元件；以及围绕所述谐振器元件且与所述谐振器元件分开非常小的容性间隙的多个电极，所述电极能够激励和检测所述谐振器中的至少两个简并的体声波谐振模；其中所述陀螺仪设备检测围绕所述基底的所述平面内的至少一条轴线的转动的速度或角度。 | ||
| 搜索关键词： | 陀螺仪 设备 制造 微机 方法 | ||
【主权项】：
一种陀螺仪设备，包括：基底，所述基底具有平面；体声波谐振器元件；以及围绕所述谐振器元件且与所述谐振器元件分开非常小的容性间隙的多个电极，所述电极能够激励和检测所述谐振器中的至少两个简并的体声波谐振模；其中所述陀螺仪设备检测围绕所述基底的所述平面内的至少一条轴线的转动的速度或角度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佐治亚科技研究公司，未经佐治亚科技研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310232722.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
