[发明专利]一种激光直线度和位移的测量装置

摘要

本发明公开一种激光直线度和位移的测量装置，包括双频激光器光源和普通分光镜，在普通分光镜的测量光路上设置有第一光路折回反射镜，在第一光路折回反射镜的第一反射光路上依次设置有第一渥拉斯顿棱镜、第二渥拉斯顿棱镜和基准反射镜，第二渥拉斯顿棱镜、第一渥拉斯顿棱镜和第一光路折回反射镜还依次位于从基准反射镜反射后返回光的光路上，在第一光路折回反射镜的第二反射光路上设置有偏振分光镜，偏振分光镜还位于普通分光镜的参考光路上，偏振分光镜的两个出光方向上分别依次设置检偏器和光电接收器，两个光电接收器连接信号处理单元。本发明能同时完成直线度和位移的测量，降低了设备成本，简化了调节过程，提高了测试效率，保证了测量精度。

主权项

一种激光直线度和位移的测量装置，包括双频激光器光源和设置在所述双频激光器光源发射端的光路轴线上的普通分光镜，所述普通分光镜透射或反射后形成测量光路或参考光路，其特征在于，在普通分光镜的测量光路上设置有第一光路折回反射镜，在第一光路折回反射镜的第一反射光路上依次设置有第一渥拉斯顿棱镜、第二渥拉斯顿棱镜和基准反射镜，所述第二渥拉斯顿棱镜、第一渥拉斯顿棱镜和第一光路折回反射镜还依次位于从基准反射镜反射后返回光的光路上，所述第一光路折回反射镜为沿任意角度入射的入射光与第一光路折回反射镜反射后的光路折回光方向相反且相互平行的器件，所述基准反射镜反射后返回光与沿基准反射镜的特征方向入射的入射光方向相反、相互平行且间隔一段距离；在第一光路折回反射镜的第二反射光路上设置有偏振分光镜，所述偏振分光镜还位于所述普通分光镜的参考光路上，所述偏振分光镜的两个出光方向上分别依次设置检偏器和光电接收器，所述两个光电接收器连接信号处理单元。