[发明专利]基板检查夹具以及基板检查装置

摘要

本发明提供一种能够大幅度地缩短检查设置在多个单位基板相连而成的连续基板上的电容器的绝缘特性所需时间的基板检查夹具和基板检查装置。作为基板检查装置（1）的检查对象的连续基板（2）由分别设置有至少一个电容器（4a、4b）的多个单位基板（3）相连而构成。针对连续基板（2）内的两个以上的单位基板（3），能够使基板检查夹具（11）的多个探针（P）的前端部分别与和设置在上述单位基板（3）上的电容器（4）的电极端子电连接的接触点（5）接触。利用多个电流检测部（AM）分别独立地检测流过连续基板（2）的两个以上的单位基板（3）的电容器（4a、4b）的电流，并基于检测结果对连续基板（2）的两个以上的单位基板（3）的电容器（4a、4b）的绝缘性进行检查。

主权项

一种基板检查夹具，上述基板检查夹具针对由多个单位基板相连接而成的、在各个上述单位基板设置有至少一个电容器并且在各个上述单位基板的表面设置有经由布线与各个上述电容器的两个电极端子连接的多个接触点的连续基板，检查设置于该连续基板内的各个上述单位基板上的上述电容器的绝缘特性的基板检查装置所具备的基板检查夹具，其特征在于，具备：多个探针，上述多个探针的前端部被配置成能够与上述连续基板的两个以上的上述单位基板的上述接触点分别接触；探针保持部件，上述探针保持部件保持上述多个探针；多个电极部，上述多个电极部与由上述探针保持部件保持的各个上述探针的后端部分别电接触；电极保持部件，上述电极保持部件保持上述多个电极部；以及多个导线部，上述多个导线部将各个上述电极部与切换各个上述探针和上述基板检查装置的装置主体侧之间的电连接关系的连接切换部连接。