[发明专利]一种微流道模具的制作方法有效
| 申请号： | 201310226365.1 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN103350982A | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 陈建刚;刘莉君 | 申请（专利权）人： | 陕西理工学院 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B01L3/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 723000 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种微流道模具的制作方法，首先制作微流道玻璃掩模板；清洗和烘烤硅片基板；在硅片基板的抛光面上滩涂SU8-2025光刻胶；前烘光刻胶；对硅片基板上的光刻胶进行光刻曝光；对光刻曝光后的光刻胶进行后烘；采用SU8显影液对光刻胶硅片基板进行显影；在硅片的抛光面上再次滩涂SU8-2025光刻胶并前烘；对硅片基板上的光刻胶进行套刻曝光；对套刻曝光后的光刻胶进行后烘；采用SU8显影液对套刻曝光后的硅片基板进行显影；清洗硅片基板模具上的微流道；对硅片基板模具上的微流道进行检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微流道 模具 制作方法 | ||
【主权项】：
一种微流道模具的制作方法，其特征在于：1)首先制作微流道玻璃掩模板；2)清洗和烘烤硅片基板；3)在硅片基板的抛光面上滩涂SU8‑2025光刻胶；4)前烘光刻胶；5)对硅片基板上的光刻胶进行光刻曝光；6)对光刻曝光后的光刻胶进行后烘；7)采用SU8显影液对光刻胶硅片基板进行显影；8)在硅片的抛光面上再次滩涂SU8‑2025光刻胶并前烘；9)对硅片基板上的光刻胶进行套刻曝光；10)对套刻曝光后的光刻胶进行后烘；11)采用SU8显影液对套刻曝光后的硅片基板进行显影；12)清洗硅片基板模具上的微流道；13)对硅片基板模具上的微流道进行检测。
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