[发明专利]圆形托盘上的排布衬底收容槽的方法及圆形托盘无效
| 申请号： | 201310225201.7 | 申请日： | 2013-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN103305814A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 林翔 | 申请（专利权）人： | 光垒光电科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 杨林;李友佳 |
| 地址： | 200050 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种圆形托盘上的排布衬底收容槽的方法及圆形托盘。所述圆形托盘上排布有若干个衬底收容槽，每个衬底收容槽上可设有一个衬底，其中，在所述圆形托盘的边缘排布外圈的衬底收容槽，使得该外圈的衬底收容槽的中心处于圆形托盘的同心圆周上并在该同心圆周上均匀分布，而且该外圈的衬底收容槽中的两相邻衬底收容槽之间的间距小于该外圈的衬底收容槽中的任一衬底收容槽的直径；在所述外圈的衬底收容槽以内排布衬底收容槽。本发明的圆形托盘上的排布衬底收容槽的方法及圆形托盘，由于圆形托盘的边缘的衬底收容槽排布均匀，使得在加热过程中，圆形托盘的边缘的衬底收容槽的受热均匀性得到提高，进而使得圆形托盘整体受热均匀性得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 圆形 托盘 排布 衬底 收容 方法 | ||
【主权项】：
一种圆形托盘上的排布衬底收容槽的方法，用以将若干个衬底收容槽排布于圆形托盘之上，其特征在于，所述排布衬底收容槽的方法包括：在圆形托盘的边缘排布外圈的衬底收容槽；使得该外圈的衬底收容槽的中心处于圆形托盘的同心圆周上并在该同心圆周上均匀分布，而且该外圈的衬底收容槽中的两相邻衬底收容槽之间的间距小于该外圈的衬底收容槽中的任一衬底收容槽的直径；在所述外圈的衬底收容槽以内排布衬底收容槽。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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