[发明专利]在可变压力条件下测试电子元件的测试装置、测试系统、方法和载体在审

专利信息
申请号: 201310197078.2 申请日: 2013-05-24
公开(公告)号: CN103616626A 公开(公告)日: 2014-03-05
发明(设计)人: S·班德 申请(专利权)人: 马提特斯电子系统有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 北京高文律师事务所 11359 代理人: 徐江华
地址: 德国罗森*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 一种用于在可变压力条件下测试电子元件的测试装置、测试系统、方法和载体包括:第一半室和第二半室、第一衬垫和第二衬垫、用于承载多个电子元件的载体段、以及环绕载体段的环形载体部。环形载体部包括第一侧和第二侧。第一衬垫布置于第一半室与环形载体部的第一侧之间,以形成气密密封,并且第二衬垫布置于第二半室与所述环形载体部的第二侧之间,以形成气密密封。
搜索关键词: 可变 压力 条件下 测试 电子元件 装置 系统 方法 载体
【主权项】:
一种用于在可变压力条件下测试电子元件(191)的测试装置(300),包括:第一半室(313)和第二半室(318),第一衬垫(311)和第二衬垫(316),用于承载多个电子元件的载体(190)的载体段(611),以及载体(190)的环形载体部(711),其中所述环形载体部(711)环绕所述载体段(611),并且其中所述载体段(611)用于承载一个子组的所述多个电子元件,其中所述环形载体部(711)包括第一侧(713)和第二侧(718),其中所述第一衬垫(311)布置于所述第一半室(313)与所述环形载体部(711)的第一侧(713)之间,以形成气密密封,并且其中所述第二衬垫(316)布置于所述第二半室(318)与所述环形载体部(711)的第二侧(718)之间,以形成气密密封。
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