[发明专利]曝光机曝光能量的校正方法及应用其的曝光方法无效
| 申请号： | 201310184852.6 | 申请日： | 2013-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN104166314A | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 张鸿明 | 申请（专利权）人： | 川宝科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 | 代理人： | 宋菲;刘云贵 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种曝光机曝光能量的校正方法及应用其的曝光方法，其可改善曝光机曝光能量的均匀性，本发明主要利用处理单元及多个光能量感测单元，之后使曝光机的多个曝光装置分别对这些光能量感测单元投光，并使处理单元记录这些曝光装置的投光能量，并计算出这些投光能量的最小值，接着使处理单元调整曝光机供电装置的供电量，以使这些曝光装置的投光能量的校正值相等且小于或等于该最小值。由此，本发明可改善曝光机曝光能量的均匀性进而提升电路板的制造合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 能量 校正 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种曝光机曝光能量的校正方法，其特征在于，该曝光机具有多个供电装置、多个曝光装置及一承载台，这些供电装置分别与这些曝光装置电连接，该曝光机曝光能量的校正方法包含下列步骤：A.提供一处理单元及多个光能量感测单元于该曝光机，这些供电装置及这些光能量感测单元电连接该处理单元；B.使这些曝光装置分别与这些光能量感测单元相对，并使这些曝光装置分别对这些光能量感测单元投光；C.使该处理单元记录这些曝光装置的投光能量，并计算出这些投光能量的最小值；以及D.使该处理单元调整这些供电装置的供电量，以使这些曝光装置的投光能量的校正值相等且小于或等于该最小值。
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