[发明专利]曝光机曝光能量的校正方法及应用其的曝光方法

权利要求书

1.一种曝光机曝光能量的校正方法，其特征在于，该曝光机具有多个供电装置、多个曝光装置及一承载台，这些供电装置分别与这些曝光装置电连接，该曝光机曝光能量的校正方法包含下列步骤：

A.提供一处理单元及多个光能量感测单元于该曝光机，这些供电装置及这些光能量感测单元电连接该处理单元；

B.使这些曝光装置分别与这些光能量感测单元相对，并使这些曝光装置分别对这些光能量感测单元投光；

C.使该处理单元记录这些曝光装置的投光能量，并计算出这些投光能量的最小值；以及

D.使该处理单元调整这些供电装置的供电量，以使这些曝光装置的投光能量的校正值相等且小于或等于该最小值。

2.如权利要求1所述的曝光机曝光能量的校正方法，其特征在于，这些光能量感测单元设置于该承载台。

3.如权利要求1所述的曝光机曝光能量的校正方法，其特征在于，这些光能量感测单元分别为紫外线传感器。

4.一种曝光机的曝光方法，其特征在于，应用如权利要求1至3中任一项所述的曝光机曝光能量的校正方法，该曝光机的曝光方法还包含下列步骤：

E.放置一感光电路板于该曝光机的承载台上；以及

F.使这些曝光装置与该感光电路板相对，并使这些曝光装置依照该校正值对该感光电路板曝光。

5.如权利要求4所述的曝光机的曝光方法，其特征在于，该步骤B及该步骤F中，这些曝光装置与这些光能量感测单元之间的距离，与这些曝光装置与该感光电路板之间的距离相等。