[发明专利]曝光机曝光能量的校正方法及应用其的曝光方法

说明书

技术领域

本发明关于一种曝光机曝光能量的校正方法及应用其的曝光方法，尤指利用多个光能量感测单元校正的校正方法及应用其的曝光方法。

背景技术

目前产业界制造电路板时普遍需利用到曝光机，一般来说，曝光机可能会具有一个以上的曝光装置，曝光机使用时先将感光电路板放置于曝光机的承载台上，接着再使承载台相对于曝光机的这些曝光装置移动，以使这些曝光装置对感光电路板曝光。然而，这些曝光装置内的发光装置由于其自身特性的不同（例如发光效率不同、使用时数不同等）而会造成这些曝光装置的曝光能量不均，其会直接使得感光电路板吸收的光能不均，进而造成当下曝光的感光电路板报废。

因此，如何发明出一种曝光机曝光能量的校正方法及应用其的曝光方法，以使其可改善曝光机曝光能量的均匀性进而提升电路板的制造合格率，将是本发明所欲积极揭露之处。

发明内容

有鉴于上述现有技术的缺憾，发明人有感其未臻于完善，遂竭其心智悉心研究克服，凭其从事该项产业多年的累积经验，进而研发出一种曝光机曝光能量的校正方法及应用其的曝光方法，以期达到改善曝光机曝光能量的均匀性进而提升电路板的制造合格率的目的。

为达上述目的，本发明提供一种曝光机曝光能量的校正方法，该曝光机具有多个供电装置、多个曝光装置及一承载台，这些供电装置分别与这些曝光装置电连接，该曝光机曝光能量的校正方法包含下列步骤：

A.提供一处理单元及多个光能量感测单元于该曝光机，这些供电装置及这些光能量感测单元电连接该处理单元；

B.使这些曝光装置分别与这些光能量感测单元相对，并使这些曝光装置分别对这些光能量感测单元投光；

C.使该处理单元记录这些曝光装置的投光能量，并计算出这些投光能量的最小值；以及

D.使该处理单元调整这些供电装置的供电量，以使这些曝光装置的投光能量的校正值相等且小于或等于该最小值。

上述曝光机曝光能量的校正方法中，这些光能量感测单元设置于该承载台。

上述曝光机曝光能量的校正方法中，这些光能量感测单元分别为紫外线传感器。

本发明还提供一种曝光机的曝光方法，其应用如上所述的曝光机曝光能量的校正方法，该曝光机的曝光方法还包含下列步骤：

E.放置一感光电路板于该曝光机的承载台上；以及

F.使这些曝光装置与该感光电路板相对，并使这些曝光装置依照该校正值对该感光电路板曝光。

上述曝光机的曝光方法中，该步骤B及该步骤F中，这些曝光装置与这些光能量感测单元之间的距离，与这些曝光装置与该感光电路板之间的距离相等。

由此，本发明的曝光机曝光能量的校正方法及应用其的曝光方法可提升曝光机曝光的准确度进而提升电路板的制造合格率。

附图说明

图1为本发明第一实施例的示意图。

图2为本发明第二实施例的示意图。

主要部件附图标记：

1               处理单元

2               光能量感测单元

3               曝光机

31              供电装置

32              曝光装置

33              承载台

34              L型固定框

4               感光电路板

具体实施方式

为充分了解本发明的目的、特征及技术效果，兹由下述具体实施例，并结合附图，对本发明做详细说明，说明如下：

图1为本发明第一实施例的示意图，如图所示，本发明的第一实施例为一种曝光机曝光能量的校正方法，该曝光机3具有多个供电装置31、多个曝光装置32及一承载台33，这些供电装置31分别与这些曝光装置32电连接，该承载台33用以承载一感光电路板（图未示），这些曝光装置32内分别具有用以曝光于该感光电路板的曝光图像（图未示），该曝光机曝光能量的校正方法包含下列步骤：