[发明专利]用于铝合金表面选择性制备功能涂层的方法有效
| 申请号： | 201310180597.8 | 申请日： | 2013-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN103243295A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 路波;霍建东;王斌;张林昆;曹乾涛;吴强;赵秉玉 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十一研究所 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/16;C23C14/30;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 266000 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于铝合金表面选择性制备功能涂层的方法，其包括以下步骤：S1、加工铝合金腔体和铝合金掩膜壳；S2、清洗所述铝合金腔体和所述铝合金掩膜壳；S3、将所述铝合金腔体和所述铝合金掩膜壳组合；S4、将所述铝合金腔体和所述铝合金掩膜壳组合体沉积多层金属薄膜；S5、拆卸所述铝合金掩膜壳，得到具有选择性沉积多层金属薄膜的所述铝合金腔体。本发明采用铝合金掩膜壳对铝合金腔体不需要涂覆的部位进行掩膜保护，达到精确地选择性制备功能涂层的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 铝合金 表面 选择性 制备 功能 涂层 方法 | ||
【主权项】：
一种用于铝合金表面选择性制备功能涂层的方法，其特征在于，其包括以下步骤：S1、加工铝合金腔体和铝合金掩膜壳；S2、清洗所述铝合金腔体和所述铝合金掩膜壳；S3、将所述铝合金腔体和所述铝合金掩膜壳组合；S4、将所述铝合金腔体和所述铝合金掩膜壳组合体沉积多层金属薄膜；S5、拆卸所述铝合金掩膜壳，得到具有选择性沉积多层金属薄膜的所述铝合金腔体。
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