[发明专利]大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的装置

摘要

大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的装置，它属于等离子体加工碳化硅密封环类零件的技术领域。它是为了解决碳化硅密封环类零件的难加工问题。它的圆盘形电极架的上端面上设置有多个薄片形电极模块的安装孔，当薄片形电极模块安装在圆盘形电极架上的安装孔时，薄片形电极模块与圆盘形电极架的直径所在直线共线，根据待加工面型的要求选择薄片形电极模块的个数；每片薄片形电极模块的下端面都靠近待加工碳化硅密封环类零件的待加工表面。本发明能对那些表面要求比较高的、加工难度比较大的、需要多个工序才能完成加工的密封环类零件表面进行先均匀的大去除、然后局部修琢的小去除、最后刻蚀微结构的高精度、高效率的加工。

主权项

大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的装置，其特征在于它由圆盘形电极架（1）、薄片形电极模块（1‑1）、地电极（2‑3）、龙门加工机床（2）、射频电源（3）、密闭工作舱（5）、混合等离子体气源（6）组成；圆盘形电极架（1）的上端面绝缘连接在龙门加工机床（2）的竖直运动工作转轴（2‑1）上，圆盘形电极架（1）的上端面上设置有多个薄片形电极模块（1‑1）的安装孔（1‑4），当薄片形电极模块（1‑1）安装在圆盘形电极架（1）上的安装孔（1‑4）时，薄片形电极模块（1‑1）与圆盘形电极架（1）的直径所在直线共线，根据待加工碳化硅密封环类零件（4）微结构面型的要求选择薄片形电极模块（1‑1）的个数；使每个薄片形电极模块（1‑1）都通过圆盘形电极架（1）与射频电源（3）的输出端连接作为大气等离子体放电的阳极；圆盘形电极架（1）上的多个出气孔（1‑2）都通过圆盘形电极架（1）中心的导气孔（1‑3）、气管（6‑1）与混合等离子体气源（6）导气连通，混合等离子体气源（6）包含反应气体、大气等离子体激发气体和辅助气体，圆盘形电极架（1）上的每个出气孔（1‑2）的出口端分别设置在每个薄片形电极模块（1‑1）附近；将待加工碳化硅密封环类零件（4）装卡在地电极（2‑3）上，地电极（2‑3）固定在龙门加工机床（2）的工作平台（2‑2）上；将地电极（2‑3）接地作为大气等离子体放电的阴极；将龙门加工机床（2）设置在密闭工作舱（5）中；圆盘形电极架（1）的回转轴心线与待加工碳化硅密封环类零件（4）的轴心线重合，使每片薄片形电极模块（1‑1）的下端面都靠近待加工碳化硅密封环类零件（4）的待加工表面，并使它们之间都保持一定的放电间隙，放电间隙范围均为1mm‑5mm。