[发明专利]一种用激光化学气相沉积法制备石墨烯的方法和装置无效
申请号: | 201310175638.4 | 申请日: | 2013-05-13 |
公开(公告)号: | CN103288073A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 陈延平;张建寰;陈永庆;刘婷婷 | 申请(专利权)人: | 厦门大学 |
主分类号: | C01B31/04 | 分类号: | C01B31/04 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人: | 张松亭 |
地址: | 361000 *** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种用激光化学气相沉积法制备石墨烯的方法,包括如下步骤:(1)将铜箔卡紧在一设有红外激光加热装置的反应腔内,对该反应腔进行抽真空;(2)在该反应腔内通入碳源气体和辅助气体后,用红外激光通过控制激光光斑的移动速度或调节功率密度将所述铜箔加热至900~1000℃,并移动红外激光在铜箔上的光斑以在铜箔表面产生单层石墨烯。本发明的制备方法采用激光作为热源,激光光能密度高,加热速度快,可迅速达到制备石墨烯所需的温度,无需使用的加热炉,能耗大大降低,且设置有可视化窗口,能够研究石墨烯的生长过程及原理。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 化学 沉积 法制 石墨 方法 装置 | ||
【主权项】:
一种用激光化学气相沉积法制备石墨烯的方法,其特征在于:包括如下步骤:(1)将铜箔卡紧在一设有红外激光加热装置的反应腔内,对该反应腔进行抽真空;(2)在该反应腔内通入碳源气体和辅助气体后,用红外激光通过控制激光光斑的移动速度或调节功率密度将所述铜箔加热至900~1000℃,并移动红外激光在铜箔上的光斑以在铜箔表面产生单层石墨烯。
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