[发明专利]MEMS扫描2μm激光外差干涉仪光学系统及其装调方法

摘要

本发明MEMS扫描2μm激光外差干涉仪光学系统及其装调方法。系统包括2μm光纤激光器、光纤分束器、格林透镜、第一透镜、第二透镜、偏振分束棱镜、λ/4波片、MEMS阵镜、F-Theta透镜、反射镜、光纤接收准直器、光纤合束器、在线式起偏器、光电探测器、示波器、声光移频器、衰减器；调试过程中通过调节偏振分束棱镜、第一透镜、第二透镜以及MEMS阵镜，确定了各器件的位置和姿态，最终使示波器显示的时域曲线和频域曲线分别对应声光移频器的外部驱动信号频率；本发明使解决了大口径MEMS扫描激光外差干涉仪系统不同模式下的激光测试信号耦合效率低的问题，提高了外差干涉仪系统的系统稳定性和探测灵敏度问题。

主权项

MEMS扫描2μm激光外差干涉仪光学系统，其特征在于：包括2μm光纤激光器（1）、光纤分束器（2）、声光移频器（3）、格林透镜（4）、第一透镜（5）、第二透镜（6）、偏振分束棱镜（7）、λ/4波片（8）、MEMS阵镜（9）、F‑Theta透镜（10）、反射镜（11）、光纤接收准直器（12）、衰减器（13）、光纤合束器（14）、在线式起偏器（15）、光电探测器（16）、示波器（17）；2μm光纤激光器（1）通过光纤分束器（2）分为测试光束和参考光束，测试光束通过声光移频器（3）、格林透镜（4）将测试光束从光纤空间转移到自由空间，而后依次经过第一透镜（5）、第二透镜（6）、偏振分束棱镜（7）、λ/4波片（8）、MEMS阵镜（9）、F‑Theta透镜（10）后到达反射镜（11），经反射镜（11）反射后测试光束沿原光路返回至偏振分束棱镜（7）；偏振分束棱镜（7）将返回的测试光束反射进光纤接收准直器（12）；从光纤分束器（2）分束出来的参考光束经衰减器（13）后与从光纤接收准直器（12）输出的光束共同耦合进光纤合束器（14），而后经过在线式起偏器（15）使两束光偏振状态保持一致，再经光电探测器（16）将光信号转换为电信号后，由示波器（17）显示出干涉形成的中频信号。