[发明专利]质量重心测量装置及方法有效
| 申请号： | 201310167089.6 | 申请日： | 2013-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN104142209A | 公开（公告）日： | 2014-11-12 |
| 发明（设计）人： | 夏海 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G01M1/12 | 分类号： | G01M1/12 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种质量重心测量装置及方法，通过调节水平向调节机构在所述滑槽内的位置；水平测量尺测量待测量部件的支撑点的位置；根据垂向精密测量装置的读数调整每个垂向调节机构的垂向距离；小型力传感器测量待测量部件保持水平时的支撑点的第一垂向力，根据第一垂向力确定所述待测量部件的质量；根据待测量部件的质量、相邻两支撑点之间的距离和第一垂向力确定待测量部件的水平向重心；以待测量部件的其中相邻两个支撑点的连线为轴将待测量部件转动α角；小型力传感器测量待测量部件另外两个支撑点的第二垂向力；确定待测量部件的垂向重心，本发明能够准确测量待测量部件如光刻装置的运动部件的质量及其重心位置，测试时间短且精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 质量 重心 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种质量重心测量装置，其特征在于，包括基座和多个支撑机构，每个支撑机构包括依次连接的水平向调节机构、垂向调节机构和小型力传感器，其中，所述基座上设置有多条滑槽和多个水平测量尺；所述水平向调节机构分别设置于所述滑槽内，以使所述水平向调节机构在滑槽内滑移；所述垂向调节机构用于支撑一待测量部件，每个垂向调节机构上设置有垂向精密测量装置；所述小型力传感器用于测量所述待测量部件的支撑点的垂向力。
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