[发明专利]基于氧化锌材料的紫外红外双色探测器及其制作方法

摘要

基于氧化锌材料的紫外红外双色探测器及其制作方法，属于半导体光电器件技术领域。所述探测器包括衬底（10），在衬底（10）上依次生长的缓冲层（11）、第一n型欧姆电极接触层（12）、红外敏感层、第二n型欧姆电极接触层（16）、紫外敏感层（17），以及设置在紫外敏感层之上的透明电极层（19），在所述第一n型欧姆电极接触层（12）、第二n型欧姆电极接触层（16）和透明电极层（19）上分别设置有底部电极（22）、中间电极（21）和顶部电极（20）。本发明采用三电极结构，即三电极结构中的中电极作为紫外、红外探测的公用电极，上电极和下电极分别作紫外、红外探测的另一电极，实现同时探测紫外、红外辐射。

主权项

基于氧化锌材料的紫外红外双色探测器，其特征在于所述探测器包括衬底（10），在衬底（10）上依次生长的缓冲层（11）、第一n型欧姆电极接触层（12）、红外敏感层、第二n型欧姆电极接触层（16）、紫外敏感层（17），以及设置在紫外敏感层之上的透明电极层（19），在所述第一n型欧姆电极接触层（12）、第二n型欧姆电极接触层（16）和透明电极层（19）上分别设置有底部电极（22）、中间电极（21）和顶部电极（20）。