[发明专利]一种气体预热装置、扩散炉及进气预热的方法无效
| 申请号： | 201310163639.7 | 申请日： | 2013-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN103243393A | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 陆利新;陈荣莲;杜鹏程 | 申请（专利权）人： | 上海煦康电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06;C30B33/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 200233 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体预热装置，包括：包含有进气口以及出气口的气包，气包的主体表面绕有电热丝，并且电热丝按照从进气口到出气口由疏到密分布；温度传感器，固定在气包上；温控仪，与温度传感器信号连接；控制元件，其一端与温控仪信号连接，其另一端与电热丝连接；本发明还提供一种气体预热装置的扩散炉，扩散炉的进口与出气口连接；本发明还提供扩散炉的进气预热方法。本发明提供的气体预热装置，气包的主体表面绕有电热丝，并且电热丝按照从进气口到出气口由疏到密分布，能够使气体通过进气口后开始缓慢均匀地加热，最终达到所需温度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 预热 装置 扩散 方法 | ||
【主权项】：
一种气体预热装置，其特征在于，包括：包含有进气口以及出气口的气包，所述气包的主体表面绕有电热丝，并且所述电热丝按照从所述进气口到所述出气口由疏到密分布；温度传感器，固定在所述气包上；温控仪，与所述温度传感器信号连接；控制元件，其一端与所述温控仪信号连接，其另一端与所述电热丝连接。
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