[发明专利]一种气体预热装置、扩散炉及进气预热的方法

权利要求书

1.一种气体预热装置，其特征在于，包括：

包含有进气口以及出气口的气包，所述气包的主体表面绕有电热丝，并且所述电热丝按照从所述进气口到所述出气口由疏到密分布；

温度传感器，固定在所述气包上；

温控仪，与所述温度传感器信号连接；

控制元件，其一端与所述温控仪信号连接，其另一端与所述电热丝连接。

2.如权利要求1所述的气体预热装置，其特征在于，所述控制元件包括触发器以及电流控制开关，所述触发器的一端与所述温控仪连接，所述触发器的另一端与所述电流控制开关连接，所述电流控制开关还与所述电热丝电连接。

3.如权利要求1所述的气体预热装置，其特征在于，还包括上位机，所述上位机与所述温控仪连接。

4.如权利要求1所述的气体预热装置，其特征在于，所述气包为石英材质。

5.一种扩散炉，其特征在于，其进口与如权利要求1至4中任一项所述气体预热装置的出气口连接。

6.如权利要求5所述的扩散炉，其特征在于，所述气体预热装置的数量为两个，包括第一气体预热装置以及第二气体预热装置，所述第一气体预热装置的出气口以及所述第二气体预热装置的出气口均与所述扩散炉的进口连接，所述第一气体预热装置对氮气和氧气的混合气体进行预热，所述第二气体预热装置对氮气和三氯氧磷的混合气体进行预热。

7.一种如权利要求5所述的扩散炉的进气预热方法，其特征在于，包括：

气体通过气包表面绕有的从进气口到出气口由疏到密分布的电热丝进行均匀缓慢加热；

温度传感器测量所述气包内气体的温度，并将温度反馈至温控仪；

所述温控仪根据反馈的温度大小利用控制元件调节所述电热丝电流的大小；

所述气包内的气体温度达到扩散炉内的温度，将气体从所述出气口输出至所述扩散炉的进口。

8.如权利要求7所述的扩散炉的进气预热方法，其特征在于，所述控制元件包括触发器以及电流控制开关，温度传感器测量的温度与设定温度不相同时，温控仪控制所述触发器使所述电流控制开关调节所述电热丝电流的大小直至所述温度传感器测量的温度与设定温度相同为止。

9.如权利要求7所述的扩散炉的进气预热方法，其特征在于，包括两个气体预热装置，两个气体预热装置对应的气包的出气口均与所述扩散炉的进口连接。