[发明专利]检查机无效
| 申请号： | 201310162952.9 | 申请日： | 2013-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN103389305A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 滨砂智训 | 申请（专利权）人： | 新东超精密有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 金龙河;车文 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种检查机，稳定地检查有机材料的蒸镀状态。该检查机具备：物镜（4），以规定的倍率观察真空室内的有机材料；照射部（12），射出对上述有机材料进行照射的紫外光；及摄像部（8），经由上述物镜拍摄被上述紫外光照射状态下的上述有机材料的像。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 | ||
【主权项】：
一种检查机，其特征在于，具备：物镜，以规定的倍率观察真空室内的有机材料；照射部，射出对所述有机材料进行照射的紫外光；及摄像部，经由所述物镜拍摄被所述紫外光照射状态下的所述有机材料的像。
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