[发明专利]检查机无效
| 申请号： | 201310162952.9 | 申请日： | 2013-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN103389305A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 滨砂智训 | 申请（专利权）人： | 新东超精密有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 金龙河;车文 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检查 | ||
【权利要求书】：
1.一种检查机，其特征在于，具备：
物镜，以规定的倍率观察真空室内的有机材料；
照射部，射出对所述有机材料进行照射的紫外光；及
摄像部，经由所述物镜拍摄被所述紫外光照射状态下的所述有机材料的像。
2.根据权利要求1所述的检查机，其特征在于，
具备照明部，射出对所述有机材料进行照明的可见光，
所述摄像部经由所述物镜拍摄被所述可见光照明状态下的所述有机材料的像。
3.根据权利要求1或2所述的检查机，其特征在于，
所述照射部经由所述物镜射出所述紫外光。
4.根据权利要求2或3所述的检查机，其特征在于，
所述照明部经由所述物镜射出所述可见光。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的检查机，其特征在于，
所述真空室具备能够从外部观察真空室内的观察窗，
所述物镜经由所述观察窗从外部观察所述有机材料。
6.根据权利要求5所述的检查机，其特征在于，
所述照射部及所述照明部经由所述观察窗对所述有机材料射出紫外光及可见光。
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