[发明专利]光学元件体内激光损伤自动快速探测装置有效
| 申请号： | 201310161404.4 | 申请日： | 2013-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN103278309A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 胡国行;赵元安;易葵;李大伟;刘晓凤;柯立松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光学元件体内激光损伤自动快速探测装置，构成包括：置于移动平台上的待测光学元件；由依次的Nd:YAG激光器和第一聚焦透镜组成的脉冲激光辐射系统；由第一HeNe连续激光器、第二聚焦透镜、第二HeNe激光器和第三聚焦透镜构成的HeNe激光照明系统；由依次的同光轴的孔径光阑、散射光收集透镜组、视场光阑和光电探测器组成的损伤探测系统，所述的光电探测器的输出端与计算机的输入端相连，该计算机的输出端通过数据输出卡与所述的Nd:YAG激光器和移动平台的控制端相连。本发明适于各类光学元件体内损伤的自动快速探测和判断。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 体内 激光 损伤 自动 快速 探测 装置 | ||
【主权项】：
一种光学元件体内激光损伤自动快速探测装置，特征在于其构成包括：置于移动平台（8）上的待测光学元件（7）；由依次的Nd:YAG激光器（1）和第一聚焦透镜（2）组成的脉冲激光辐射系统；由第一HeNe连续激光器（3）、第二聚焦透镜（4）、第二HeNe激光器（5）和第三聚焦透镜（6）构成的HeNe激光照明系统；由依次的同光轴的孔径光阑（9）、散射光收集透镜组（10）、视场光阑（11）和光电探测器（12）组成的损伤探测系统，所述的光电探测器（12）的输出端与计算机（13）的输入端相连，该计算机（13）的输出端通过数据输出卡（17）与所述的Nd:YAG激光器（1）和移动平台（8）的控制端相连；在所述的计算机（13）的控制下，通过数据输出卡（17）驱动Nd:YAG激光器（1）发出脉冲激光通过第一聚焦透镜（2）聚焦在待测光学元件（7）体内的测试区域；由第一HeNe激光器（3）和第二HeNe激光器（5）发出的连续激光分别经第二聚焦透镜（4）和第三聚焦透镜（6）聚焦后倾斜入射到待测光学元件（7）体内照亮被Nd:YAG激光辐射的测试区域；该测试区域的散射光经所述的孔径光阑（9）、散射光收集透镜组（10）、视场光阑（11）由所述的光电探测器（12）探测，该光电探测器（12）的输出端与所述的计算机（13）的输入端相连。
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