[发明专利]一种铜锌锡硫薄膜材料的硒化方法

摘要

本发明涉及硒气氛下对铜锌锡硫薄膜进行硒化处理的方法。属太阳能电池薄膜器件制备工艺技术领域。本发明包括如下步骤:将硒粒和涂覆有铜锌锡硫薄膜的载玻片放入石英管中并抽高真空至5×10-4Pa，用氢氧焰加热管口至熔融并冷却封管。将石英管放入500-550℃的管式退火炉中进行热处理30min，进行铜锌锡硫薄膜的硒化处理。

主权项

一种铜锌锡硫薄膜材料的硒化方法。其特征在于具有以下的过程和步骤：a)      取壁厚1.5‑2.0mm的石英管，加入酒精超声15min，用去离子水冲洗干净并烘干；b)      取适量高纯硒粉或硒粒，装入石英管，并推至石英管底部，将涂覆有铜锌锡硫薄膜的载玻片沿管壁垂直放入石英管中;再取一根外直径略小于石英管的石英管至于载玻片上端，作为封管时的封套；c)      将装有载玻片与硒粒的石英管与扩散泵、机械泵用真空橡皮管相连，并在接口处用真空硅脂实现密封；用机械泵和扩散泵对石英管内部抽高真空，真空度约为5×10‑3‑5×10‑4Pa。d)      先打开氢气管，点燃氢气燃烧，然后打开氧气管，并且调节适当的氧气流量；在封套和石英管交接处，先用氢氧焰烘至白热状态，进行预热，预热20‑30s后，将氢氧焰的外焰集中于石英管和封套交接处，并且环绕石英管进行燃烧，此时石英管发出白光，并且慢慢融化，熔融状态的石英管与内部的封套均匀接触，移开氢氧焰，熔融的石英管会迅速冷却，并且附着在内部的封套上，此时石英管内部形成真空腔；e)  待石英管冷却后，将石英管取下，并且置于350‑550℃的管式退火炉中；石英管中的硒粒融化并汽化，石英管中此时是硒气氛，硒化30min，将石英管取出，置于空气中冷却至室温；最后再从石英管中取出经硒化的铜锌锡硫薄膜载玻片。