[发明专利]一种反应腔室及等离子体加工设备

摘要

本发明提供一种反应腔室及等离子体加工设备，其由腔室周壁环绕形成，在腔室周壁上设置有贯穿其厚度的开口，并且在腔室周壁的外侧，且位于开口的一侧设置有密封侧门，密封侧门与腔室周壁可摆动的连接，用以密封或开启开口；反应腔室还包括承载装置，用以承载被加工工件，该承载装置与密封侧门固定连接，并且密封侧门在移动至密封开口的位置时，承载装置位于反应腔室内的承载位置；密封侧门在移动至开启开口的位置时，承载装置位于反应腔室外的安装位置；且承载装置经由开口在承载位置和安装位置之间移动。本发明提供的反应腔室，其便于操作人员对承载装置进行安装和维护，从而不仅可以提高安装和维护的效率，而且可以降低人力成本。

主权项

一种反应腔室，其由腔室周壁环绕形成，在所述腔室周壁上设置有贯穿其厚度的开口，并且在所述腔室周壁的外侧，且位于所述开口的一侧设置有密封侧门，所述密封侧门与所述腔室周壁可摆动的连接，用以密封或开启所述开口；所述反应腔室还包括承载装置，用以承载被加工工件，其特征在于，所述承载装置与所述密封侧门固定连接，并且所述密封侧门在移动至密封所述开口的位置时，所述承载装置位于所述反应腔室内的承载位置；所述密封侧门在移动至开启所述开口的位置时，所述承载装置位于反应腔室外的安装位置；且所述承载装置经由所述开口在所述承载位置和安装位置之间移动。