[发明专利]石墨烯片的形成装置与形成方法无效
申请号: | 201310129331.0 | 申请日: | 2013-04-15 |
公开(公告)号: | CN103864061A | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 黄昆平;张志振;寇崇善;谢宇泽 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | C01B31/04 | 分类号: | C01B31/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 曹玲柱 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供的石墨烯片的形成装置,包括:气导管;碳氢气体源,连接至气导管前段以提供碳氢气体通过气导管;微波源,提供微波经导波管通过气导管中段,使碳氢气体形成微波等离子体火焰,其中微波等离子体火焰使碳氢气体裂解后并形成石墨烯片;以及收集管,连接至气导管后段以收集石墨烯片。 | ||
搜索关键词: | 石墨 形成 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种石墨烯片的形成装置,其特征在于,包括:一气导管;一碳氢气体源,连接至该气导管前段以提供一碳氢气体通过该气导管;一微波源,提供一微波经一导波管通过该气导管中段,使该碳氢气体形成一微波等离子体火焰,其中该微波等离子体火焰使该碳氢气体裂解后并形成一石墨烯片;以及一收集管,连接至该气导管后段以收集该石墨烯片。
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