[发明专利]石墨烯片的形成装置与形成方法无效
| 申请号： | 201310129331.0 | 申请日： | 2013-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN103864061A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 黄昆平;张志振;寇崇善;谢宇泽 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C01B31/04 | 分类号： | C01B31/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 曹玲柱 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨 形成 装置 方法 | ||
1.一种石墨烯片的形成装置，其特征在于，包括：
一气导管；
一碳氢气体源，连接至该气导管前段以提供一碳氢气体通过该气导管；
一微波源，提供一微波经一导波管通过该气导管中段，使该碳氢气体形成一微波等离子体火焰，其中该微波等离子体火焰使该碳氢气体裂解后并形成一石墨烯片；以及
一收集管，连接至该气导管后段以收集该石墨烯片。
2.根据权利要求1所述的石墨烯片的形成装置，其特征在于，该气导管材料包括石英、氧化铝、氧化镁、或氧化锆。
3.根据权利要求1所述的石墨烯片的形成装置，其特征在于，该碳氢气体源提供的碳氢气体包括甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙烯、乙炔、或上述的组合。
4.根据权利要求1所述的石墨烯片的形成装置，其特征在于，该收集管包括镍、铜、铁、铜镍合金、铁镍合金、石英、玻璃、氧化铝、氧化镁、或氧化锆。
5.根据权利要求1所述的石墨烯片的形成装置，其特征在于，还包括至少一收集棒位于该收集管中，且该收集棒包括镍、铜、铁、铜镍合金、铁镍合金、石英、玻璃、氧化铝、氧化镁、或氧化锆。
6.根据权利要求1所述的石墨烯片的形成装置，其特征在于，该碳氢气体源混合一惰性气体与该碳氢气体以调整该碳氢气体的浓度。
7.一种石墨烯片的形成方法，其特征在于，包括：
提供一碳氢气体至一气导管中；
提供一微波经一导波管通过该气导管，使该碳氢气体形成一微波等离子体火焰，其中该微波等离子体火焰使该碳氢气体裂解后并形成一石墨烯片；以及
以连接至该气导管后段的一收集管，收集该石墨烯片。
8.根据权利要求7所述的石墨烯片的形成方法，其特征在于，该收集管包括镍、铜、铁、铜镍合金、铁镍合金、石英、玻璃、氧化铝、氧化镁、或氧化锆。
9.根据权利要求7所述的石墨烯片的形成方法，其特征在于，该碳氢气体的流速介于0.1m/s至1m/s之间，且该碳氢气体包括甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙烯、乙炔、或上述的组合。
10.根据权利要求7所述的石墨烯片的形成方法，其特征在于，该微波源的功率介于100W至5kW之间。
11.根据权利要求7所述的石墨烯片的形成方法，其特征在于，还包括将至少一收集棒置于该收集管中，以该收集棒收集该石墨烯片，且该收集棒包括镍、铜、铁、铜镍合金、铁镍合金、石英、玻璃、氧化铝、氧化镁、或氧化锆。
12.根据权利要求7所述的石墨烯片的形成方法，其特征在于，在提供该碳氢气体至该气导管中的步骤前，还包括混合一惰性气体与该碳氢气体以调整该碳氢气体的浓度。
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