[发明专利]多晶硅铸锭炉的坩埚护板及其使用方法无效
| 申请号: | 201310124023.9 | 申请日: | 2013-04-10 |
| 公开(公告)号: | CN104099663A | 公开(公告)日: | 2014-10-15 |
| 发明(设计)人: | 徐桢弟;宗卫峰;史珺 | 申请(专利权)人: | 上海普罗新能源有限公司 |
| 主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 丁纪铁 |
| 地址: | 201300 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种多晶硅铸锭炉的坩埚护板,坩埚护板由四片石墨护板连接而成并围成一个能够将坩埚包围的且呈长方体或正方体的内部空间结构;各石墨护板的第一侧设置有多个榫、第二侧设置有多个卯;相邻的石墨护板之间通过榫卯连接。本发明还公开了一种多晶硅铸锭炉的坩埚护板的使用方法。本发明能使护板的拆、装在操作上变得简单,且护板能反复使用,能提高生产效率、降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词: | 多晶 铸锭 坩埚 及其 使用方法 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉的坩埚护板,其特征在于,坩埚护板由四片石墨护板连接而成并围成一个能够将坩埚包围的且呈长方体或正方体的内部空间结构;各所述石墨护板的第一侧设置有多个榫、第二侧设置有和多个所述榫相对应的多个卯;各所述石墨护板的第一侧的所述榫和该第一侧相邻的另一所述石墨护板的第二侧的所述卯相连接,各所述石墨护板的第二侧的所述卯和该第二侧相邻的另一所述石墨护板的第一侧的所述榫相连接。
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