[发明专利]多晶硅铸锭炉的坩埚护板及其使用方法

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉的坩埚护板，其特征在于，坩埚护板由四片石墨护板连接而成并围成一个能够将坩埚包围的且呈长方体或正方体的内部空间结构；

各所述石墨护板的第一侧设置有多个榫、第二侧设置有和多个所述榫相对应的多个卯；

各所述石墨护板的第一侧的所述榫和该第一侧相邻的另一所述石墨护板的第二侧的所述卯相连接，各所述石墨护板的第二侧的所述卯和该第二侧相邻的另一所述石墨护板的第一侧的所述榫相连接。

2.一种如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的坩埚护板，其特征在于：在各所述石墨护板的榫的头部设置有一个插销孔，每一个所述插销孔配合设置一个呈条状的石墨销，从所述石墨销的一侧到另一侧所述石墨销的内径逐渐变大；所述四片石墨护板通过榫卯连接形成所述坩埚护板后，各所述榫穿过对应的卯并将所对应的插销孔露出，所述石墨销插入于所述插销孔中并使所述坩埚护板固定。

3.一种如权利要求1或2所述的多晶硅铸锭炉的坩埚护板，其特征在于：所述坩埚的外侧面呈长方体或正方体结构，所述坩埚护板的内侧面和所述坩埚的外侧面相接触并贴在一起。

4.一种如权利要求1或2所述的多晶硅铸锭炉的坩埚护板，其特征在于：所述坩埚的材质为石英。

5.一种如权利要求2所述的多晶硅铸锭炉的坩埚护板，其特征在于：所述坩埚护板所围的内部空间的尺寸能够通过调整所述石墨销插入所述插销孔的深度来调节。

6.一种如权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的坩埚护板的使用方法，其特征在于：坩埚护板的使用方法包括安装步骤和拆除步骤；

安装步骤包括：

在多晶硅铸锭炉内放置外侧面呈长方体或正方体结构的坩埚；

利用榫卯连接方式将四片石墨护板连接起来并形成所述坩埚护板，所述坩埚护板围成一个将坩埚包围的且呈长方体或正方体的内部空间结构；

拆除步骤包括：

将四片所述石墨护板之间的榫卯连接松开；

将所述石墨护板取出所述多晶硅铸锭炉。

7.一种如权利要求6所述的方法，其特征在于：在各所述石墨护板的榫的头部设置有一个插销孔，每一个所述插销孔配合设置一个呈条状的石墨销，从所述石墨销的一侧到另一侧所述石墨销的内径逐渐变大；

在安装步骤中还包括步骤：在利用榫卯连接方式将所述四片石墨护板连接起来并形成所述坩埚护板之后，各所述榫穿过对应的卯并将所对应的插销孔露出，将所述石墨销插入于所述插销孔中并使所述坩埚护板固定；

在拆除步骤中还包括步骤：在将四片所述石墨护板之间的榫卯连接松开之前，将所述石墨销拔出对应的所述插销孔。

8.一种如权利要求6或7所述的方法，其特征在于：所述坩埚护板安装后，所述坩埚护板的内侧面和所述坩埚的外侧面相接触并贴在一起。

9.一种如权利要求6或7所述的方法，其特征在于：所述坩埚的材质为石英。

10.一种如权利要求7所述的方法，其特征在于：通过调整所述石墨销插入所述插销孔的深度来调节所述坩埚护板所围的内部空间的尺寸。