[发明专利]一种反应腔室及等离子体加工设备

摘要

本发明提供了一种反应腔室及等离子体加工设备，包括多层托盘、感应线圈和中央进气管，其中，每层所述托盘包括互为同心环的加热外环和隔热内环，加热外环采用导磁材料制作，被加工工件设置在加热外环的上表面，且沿其周向间隔排布一圈；隔热内环采用抗磁且绝缘的材料制作，中央进气管沿竖直方向穿过每层隔热内环的环孔，并且在中央进气管上，且位于靠近每层隔热内环的上表面的位置处分别设置有出气口，用以向反应腔室的四周喷出工艺气体。本发明提供的反应腔室可以减少工艺气体的损耗量，从而可以提高等离子体加工设备的使用成本，而且还可以减少反应腔室内的反应副产物，从而可以提高工艺的重复性和良品率。

主权项

一种反应腔室，包括多层托盘、感应线圈和中央进气管，其中，所述多层托盘沿竖直方向间隔设置在所述反应腔室内，用以承载被加工工件；所述感应线圈环绕所述反应腔室的外周壁设置，用以采用感应加热的方式对所述托盘进行加热；所述中央进气管用于向所述反应腔室内输送工艺气体；其特征在于，每层所述托盘包括互为同心环的加热外环和隔热内环，其中所述加热外环采用导磁材料制作；所述被加工工件设置在所述加热外环的上表面，且沿其周向间隔排布一圈；所述隔热内环采用抗磁且绝缘的材料制作；所述中央进气管沿竖直方向穿过每层所述隔热内环的环孔，并且在所述中央进气管上，且位于靠近每层所述隔热内环的上表面的位置处分别设置有出气口，用以向所述反应腔室的四周喷出工艺气体；靠近每层所述隔热内环的上表面的所述出气口的数量为一个或者多个，且多个所述出气口沿所述中央进气管的轴向间隔设置；并且每个所述出气口由沿所述中央进气管的周向间隔设置的多个通孔组成；所述反应腔室还包括导气管组，所述导气管组设置在所述中央进气管上，在靠近每层所述隔热内环的上表面的位置处，每个所述导气管组包括以所述中央进气管为中心呈放射状分布的多个导气管，每个所述导气管用于将自所述通孔喷出的所述工艺气体输送至所述加热外环的上方；每个所述导气管的进气端和所述通孔连通，每个所述导气管的出气端延伸至靠近所述加热外环的内缘位置处。