[发明专利]包含有用于减小热应力的缓冲层的静电吸盘

摘要

在静电吸盘（ESC）中包括用于吸收热应力的缓冲层，所述静电吸盘包括具有穿透孔的主体以及设置在所述主体上的基板。所述基板具有与所述主体的穿透孔对应的插入部分以及被定位于所述基板之内并通过所述插入部分被暴露出来的电极。所述ESC包括端子单元，所述端子单元具有通过所述穿透孔和所述基板的插入部分与所述电极接触的端子；以及缓冲层，其设置在所述主体和所述基板中的至少一个与所述端子之间的边界区域，并吸收所述主体的热应力。因此，ESC的热应力被吸收到所述缓冲层，从而充分减少了由热应力造成的裂纹由此增加了ESC的耐久性寿命。

主权项

一种制造静电吸盘的方法，包括：制备具有穿透孔的主体；形成对应于所述穿透孔且具有缓冲层的端子单元，所述缓冲层用于吸收热应力；组合所述主体和所述端子单元，使得所述端子单元穿透所述穿透孔，并从所述主体的顶部表面突出，并且所述缓冲层设于所述主体和端子单元之间；在所述主体上形成下基板，使得所述端子的顶部表面暴露出来，并且所述缓冲层设于所述下基板和端子单元之间；在所述下基板上形成电极，使得所述电极与所述暴露出来的端子单元形成接触；以及在所述下基板和所述电极上形成上基板。