[发明专利]磁分析器有效
| 申请号： | 201310114301.2 | 申请日： | 2013-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN104103479B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 郭楠;曹志伟 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/05 | 分类号： | H01J37/05 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁分析器，包括轭铁和设于轭铁外的磁铁，所述轭铁包围形成的离子飞行管道内设有束板，所述束板上开有多个穿透束板的离子通道，每个所述离子通道对应一特定质荷比离子的偏转半径。本发明能够一次性析出多种离子，实现了阱注入工艺多种离子的一次性注入，提高了离子注入的效率，降低了制造周期，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 分析器 | ||
【主权项】：
一种磁分析器，包括轭铁和设于轭铁外的磁铁，其特征在于，所述轭铁包围形成的离子飞行管道内设有束板，所述束板上开有多个穿透束板的离子通道，每个所述离子通道对应一特定质荷比离子的偏转半径，且每个所述离子通道对应的离子的质荷比各不相同；通过磁分析器的离子再通过聚焦装置聚焦在一起，从而实现多种离子一次性注入。
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