[发明专利]蓝宝石基板的再生方法无效
| 申请号： | 201310090201.0 | 申请日： | 2013-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN103633202A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 钟润文;周志豪;陈飞宏 | 申请（专利权）人： | 鑫晶钻科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/02 | 分类号： | H01L33/02 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 发明为一种蓝宝石基板的再生方法，其先提供一半导体结构，将该半导体结构浸渍于一碱性水溶液，以去除该半导体结构的一蓝宝石基板上的一磊晶结构，并在经过清洗制程，将该半导体结构的残留浸渍液去除后，得到一再生的蓝宝石基板，藉由上述步骤进行再生的制程能够大量处理蓝宝石基板、处理时间短、可选择性清除镀层，且浸渍液不与蓝宝石基板反应，可保留蓝宝石基板使用前状态，降低成膜生产参数的变异性，提升产品良率的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石 再生 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石基板的再生方法，其特征在于，其包含：提供一半导体结构，其包含一蓝宝石基板及一磊晶结构，该磊晶结构设于该蓝宝石基板一侧；浸渍该半导体结构于一碱性水溶液，以去除该磊晶结构的多个金属氮化物层；取出该半导体结构，并进行一清洗制程，以去除该半导体结构的残留浸渍液；及得到该蓝宝石基板。
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