[发明专利]一种中阶梯光栅的复制方法

摘要

一种中阶梯光栅的复制方法，包括以下步骤：a.将母光栅装在真空镀膜机中，通过毛细吸管定标精确控制硅油的用量，在电极上加上硅油和铝丝，将蒸发电极的位置改到真空镀膜机底板中间，确定修正板的形状与位置，安装晶控膜厚监测仪；b.当达到第一真空度时，对母光栅进行镀油；c.油镀好后继续抽真空，当达到第二真空度时，对已镀油母光栅进行镀铝d. 将已镀铝母光栅送入烘箱中保温；e.将胶粘剂去气泡并放到烘箱中预热；f.将处理完成的胶粘剂滴到已镀铝母光栅表面，再将已清洁处理好的光栅毛坯压到胶黏剂上，接着将压块压到光栅毛坯上，并送入烘箱保温；g.移除母光栅和压块，得到中阶梯光栅。

主权项

一种基于母光栅和毛坯复制中阶梯光栅的复制方法，其特征在于，包括以下步骤：a.将清洁处理好的所述母光栅装在真空镀膜机的蒸发室的工具架上，通过毛细吸管定标精确控制硅油的用量，在第一电极上加上所述硅油，在第二电极上加上铝丝，将蒸发电极的位置改到所述真空镀膜机底板中间，通过标定确定修正板的形状与位置，并安装晶控膜厚监测仪；b. 镀油：关闭蒸发室抽高真空，当达到第一真空度时，缓慢增加蒸发电流对所述母光栅进行镀油，得到已镀油母光栅；c. 镀铝：油镀好后继续抽真空，当达到第二真空度时，缓慢增加蒸发电流对所述已镀油母光栅进行镀铝，采用晶控膜厚检测仪来控制所镀铝层的厚度，得到已镀铝母光栅；d. 将所述已镀铝母光栅送入烘箱中，在一定温度下保温一段时间；e.去气泡：将胶粘剂放到所述真空镀膜机中，首先抽低真空一段时间，接着用离子源轰击所述胶粘剂，然后抽高真空一段时间，接着将处理完成的胶粘剂放到烘箱中，在所述一定温度下预热，得到预热完成的胶粘剂；f. 粘结：将所述预热完成的胶粘剂滴到所述已镀铝母光栅表面，再将已清洁处理好的所述光栅毛坯压到所述已镀铝母光栅上，接着将压块压到所述光栅毛坯上，并一起送入到烘箱中于所述一定温度下保温一定时间；g.关闭烘箱，当温度降至室温后，将所述母光栅和所述压块移除，得到所述中阶梯光栅；h．当所述母光栅有小平面时，再以第一次复制得到的所述复制光栅作为母板，重复步骤a、b、c、d、f、g，进行第二次复制，可以得到槽面有 小平面的中阶梯光栅。