[发明专利]蒸镀装置

摘要

本发明提供一种蒸镀装置。在所述蒸镀装置中，在将蒸发粒子向玻璃基板（12）引导的材料输送管（17）上，设置有用于调节流路的开度的流量控制阀（18），在比流量控制阀（18）靠向下游侧的材料输送管（17）内设有第一压力传感器（21），在真空室（11）内设有第二压力传感器（22）。控制器（24）利用上述两台压力传感器（21、22）测量出的压力（P1、P2）的压力差（P1-P2）求出蒸发粒子的流量，从而测量蒸发粒子向玻璃基板（12）的蒸镀速率。并且控制器（24）利用流量控制阀（18）调节材料输送管（17）的开度，以使所述测量的蒸镀速率成为规定的蒸镀速率。

主权项

一种蒸镀装置，在真空槽内使蒸发的蒸镀材料附着在被蒸镀构件上，所述蒸镀装置的特征在于，在将所述蒸发的蒸镀材料向所述被蒸镀构件引导的流路上，设置有用于调节所述流路的开度的调节装置，在比所述调节装置靠向下游侧的所述流路内设置有第一压力传感器，并且在比所述第一压力传感器靠向下游侧的所述流路内或所述真空槽内设置有第二压力传感器，所述蒸镀装置还设置有控制器，所述控制器通过利用两台所述压力传感器测量出的压力的压力差求出所述蒸发的蒸镀材料的流量，从而测量所述蒸发的蒸镀材料向所述被蒸镀构件的蒸镀速率，并利用所述调节装置调节所述流路的开度以使所述测量的蒸镀速率成为规定的蒸镀速率。