[发明专利]蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，在真空槽内使蒸发的蒸镀材料附着在被蒸镀构件上，所述蒸镀装置的特征在于，

在将所述蒸发的蒸镀材料向所述被蒸镀构件引导的流路上，设置有用于调节所述流路的开度的调节装置，

在比所述调节装置靠向下游侧的所述流路内设置有第一压力传感器，并且在比所述第一压力传感器靠向下游侧的所述流路内或所述真空槽内设置有第二压力传感器，

所述蒸镀装置还设置有控制器，所述控制器通过利用两台所述压力传感器测量出的压力的压力差求出所述蒸发的蒸镀材料的流量，从而测量所述蒸发的蒸镀材料向所述被蒸镀构件的蒸镀速率，并利用所述调节装置调节所述流路的开度以使所述测量的蒸镀速率成为规定的蒸镀速率。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

在比所述调节装置靠向下游侧的流路内设置有节流孔，

将所述第一压力传感器设置在比所述节流孔靠向上流侧，且将所述第二压力传感器设置在比所述节流孔靠向下游侧。

3.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，

在比所述调节装置靠向下游侧的流路的一部分上，形成有直径小于所述流路的其它部分的小径流路，

将所述第一压力传感器设置在比所述小径流路靠向上流侧，且将所述第二压力传感器设置在比所述小径流路靠向下游侧。

4.一种蒸镀装置，在真空槽内将由第一流路引导的蒸发的第一蒸镀材料，与由第二流路引导的蒸发的第二蒸镀材料在第三流路合流并混合，使两种所述蒸发的蒸镀材料附着在被蒸镀构件上，其中，所述第二蒸镀材料的蒸镀量小于所述第一蒸镀材料的蒸镀量，所述蒸镀装置的特征在于，

在所述第一流路上设置有用于调节所述第一流路的开度的第一调节装置，

在所述第二流路上设置有用于调节所述第二流路的开度的第二调节装置，

在比所述第二调节装置靠向下游侧的所述第二流路内设置有节流孔，

在比所述第一调节装置靠向下游侧的第一流路内设置有第一压力传感器，

在所述第三流路内或所述真空槽内设置有第二压力传感器，

在比所述第二调节装置靠向下游侧且比所述节流孔靠向上流侧的第二流路内设置有第三压力传感器，

在比所述节流孔靠向下游侧的第二流路内设置有第四压力传感器，

所述蒸镀装置还设置有控制器，

所述控制器通过利用所述第一压力传感器和所述第二压力传感器测量出的压力的压力差求出所述蒸发的第一蒸镀材料的流量，从而测量所述蒸发的第一蒸镀材料向所述被蒸镀构件的蒸镀速率，并利用所述第一调节装置调节所述第一流路的开度以使所述测量的蒸镀速率成为规定的蒸镀速率，并且

所述控制器通过利用所述第三压力传感器和所述第四压力传感器测量出的压力的压力差求出所述蒸发的第二蒸镀材料的流量，从而测量所述蒸发的第二蒸镀材料向所述被蒸镀构件的蒸镀速率，并利用所述第二调节装置调节所述第二流路的开度以使所述测量的蒸镀速率成为规定的蒸镀速率。

5.一种蒸镀装置，在真空槽内将由第一流路引导的蒸发的第一蒸镀材料，与由第二流路引导的蒸发的第二蒸镀材料在第三流路合流并混合，使两种所述蒸发的蒸镀材料附着在被蒸镀构件上，其中，所述第二蒸镀材料的蒸镀量小于所述第一蒸镀材料的蒸镀量，所述蒸镀装置的特征在于，

在所述第一流路上设置有用于调节所述第一流路的开度的第一调节装置，

在所述第二流路上设置有用于调节所述第二流路的开度的第二调节装置，

在比所述第二调节装置靠向下游侧的第二流路的一部分上，形成有直径小于第二流路的其它部分的小径流路，

在比所述第一调节装置靠向下游侧的第一流路内设置有第一压力传感器，

在所述第三流路内或所述真空槽内设置有第二压力传感器，

在比所述小径流路靠向上流侧设置有第三压力传感器，

在比所述小径流路靠向下游侧设置有第四压力传感器，

所述蒸镀装置还设置有控制器，

所述控制器通过利用所述第一压力传感器和所述第二压力传感器测量出的压力的压力差求出所述蒸发的第一蒸镀材料的流量，从而测量所述蒸发的第一蒸镀材料向所述被蒸镀构件的蒸镀速率，并利用所述第一调节装置调节所述第一流路的开度以使所述测量的蒸镀速率成为规定的蒸镀速率，并且

所述控制器通过利用所述第三压力传感器和所述第四压力传感器测量出的压力的压力差求出所述蒸发的第二蒸镀材料的流量，从而测量所述蒸发的第二蒸镀材料向所述被蒸镀构件的蒸镀速率，并利用所述第二调节装置调节所述第二流路的开度以使所述测量的蒸镀速率成为规定的蒸镀速率。