[发明专利]一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜的制造方法无效
| 申请号： | 201310066810.2 | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN103160785A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 钱时昌 | 申请（专利权）人： | 溧阳华晶电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35;C23C14/58;C30B23/08;C30B29/16 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 蒋家华 |
| 地址： | 213300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜的制造方法，该制造方法依次包括如下步骤：第一步，选取蓝宝石作为衬底，将该衬底进行清洗，以去除衬底表面；将纯度为99.99％的氧化锌粉末、镁的摩尔含量为5-11%的氧化镁粉末进行混合，然后压制形成靶材；向该磁控溅射反应室通入NO、NO2混合气体后施加射频功率，并将靶材溅射沉积在衬底之上，从而在衬底上形成厚度为300-400nm的氮镁共掺杂的p型ZnO晶体薄膜；第四步，对衬底进行热退火。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮镁共 掺杂 氧化锌 薄膜 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜的制造方法，该制造方法依次包括如下步骤：第一步，选取蓝宝石作为衬底1，将该衬底1放置到具有无水乙醇的超声波振荡器中进行清洗，以去除衬底1表面的油脂，然后再将其放置到具有去离子水的超声波振荡器中进行清洗，以去除残余的无水乙醇；第二步，将纯度为99.99％的氧化锌粉末、镁的摩尔含量为5‑11%的氧化镁粉末进行混合，然后压制形成靶材；第三步，将完成第一步工艺的衬底1放入磁控溅射反应室中，向该磁控溅射反应室通入氮的摩尔含量为0.8‑1.7％的NO、NO2混合气体后施加射频功率，该射频功率使得NO和NO2气体活化，并将靶材溅射沉积在衬底之上，从而在衬底1上形成厚度为300‑400nm的氮镁共掺杂的p型ZnO晶体薄膜2；第四步，对完成第三步的衬底1进行热退火，退火气氛为氧气，退火温度为700℃，退火时间为40分钟。
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