[发明专利]一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜的制造方法

权利要求书

1.一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜的制造方法，该制造方法依次包括如下步骤：

第一步，选取蓝宝石作为衬底1，将该衬底1放置到具有无水乙醇的超声波振荡器中进行清洗，以去除衬底1表面的油脂，然后再将其放置到具有去离子水的超声波振荡器中进行清洗，以去除残余的无水乙醇；

第二步，将纯度为99.99％的氧化锌粉末、镁的摩尔含量为5-11%的氧化镁粉末进行混合，然后压制形成靶材；

第三步，将完成第一步工艺的衬底1放入磁控溅射反应室中，向该磁控溅射反应室通入氮的摩尔含量为0.8-1.7％的NO、NO₂混合气体后施加射频功率，该射频功率使得NO和NO₂气体活化，并将靶材溅射沉积在衬底之上，从而在衬底1上形成厚度为300-400nm的氮镁共掺杂的p型ZnO晶体薄膜2；

第四步，对完成第三步的衬底1进行热退火，退火气氛为氧气，退火温度为700℃，退火时间为40分钟。

2.如权利要求1所述的氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜的制造方法，其特征在于：p型氧化锌薄膜在常温下，其压电常数d₃₃大于16pC/N，其电阻率大于1.2×10¹⁰Ω·cm。

3.如权利要求1所述的氮镁共掺杂p型氧化锌薄膜的制造方法

所述氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜在蓝宝石衬底上通过射频磁控溅射方法来形成，其厚度约为300-400nm，优选360nm。