[发明专利]自参考干涉对准系统有效
| 申请号： | 201310064775.0 | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN104020642A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 李运锋 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种自参考干涉对准系统，包括：激光光源模块，用于提供所需的照明光束；光学模块，用于将照明光束照射到对准标记上，并接收携带所述对准标记X向和Y向的对准信息的反射光，所述反射光在所述光学模块的自参考干涉仪内进行波面的分裂、旋转和叠加，然后出射光学信号，其中，所述X向垂直于Y向；电子采集模块，用于将所述光学信号进行处理，获得光强信号；软件模块，用于对光强信号进行处理，进一步获得对准位置；其特征在于，所述光学模块还包括一分束汇聚单元，所述分束汇聚单元将携带所述对准标记X向和Y向对准信息的光学信号分束到不同的支路里，以实现X向和Y向对准位置的二维扫描。本发明在现有技术基础上进行了改进，可以同时实现X和Y向的二维对准，从而提高对准产率。 | ||
| 搜索关键词： | 参考 干涉 对准 系统 | ||
【主权项】：
一种自参考干涉对准系统，包括：激光光源模块，用于提供所需的照明光束；光学模块，用于将照明光束照射到对准标记上，并接收携带所述对准标记X向和Y向的对准信息的反射光，所述反射光在所述光学模块的自参考干涉仪内进行波面的分裂、旋转和叠加，然后出射光学信号，其中，所述X向垂直于Y向；电子采集模块，用于将所述光学信号进行处理，获得光强信号；软件模块，用于对光强信号进行处理，进一步获得对准位置；其特征在于，所述光学模块还包括一分束汇聚单元，所述分束汇聚单元将携带所述对准标记X向和Y向对准信息的光学信号分束到不同的支路里，以实现X向和Y向对准位置的二维扫描。
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