[发明专利]自参考干涉对准系统

权利要求书

1.一种自参考干涉对准系统，包括：

激光光源模块，用于提供所需的照明光束；

光学模块，用于将照明光束照射到对准标记上，并接收携带所述对准标记X向和Y向的对准信息的反射光，所述反射光在所述光学模块的自参考干涉仪内进行波面的分裂、旋转和叠加，然后出射光学信号，其中，所述X向垂直于Y向；

电子采集模块，用于将所述光学信号进行处理，获得光强信号；

软件模块，用于对光强信号进行处理，进一步获得对准位置；

其特征在于，所述光学模块还包括一分束汇聚单元，所述分束汇聚单元将携带所述对准标记X向和Y向对准信息的光学信号分束到不同的支路里，以实现X向和Y向对准位置的二维扫描。

2.如权利要求1所述的自参考干涉对准系统，其特征在于，所述分束汇聚单元利用偏振分束特性，将光束分束到两个不同支路，在两个支路里形成相位相差180度的光学信号。

3.如权利要求1所述的自参考干涉对准系统，其特征在于，所述分束汇聚单元包括：

XY向分束器，用于接收所述自参考干涉仪出射的光信号，并将该光信号进行分束处理，形成第一光信号及第二光信号，所述第一光信号携带有所述对准标记X向对准信息，所述第二光信号携带有所述对准标记Y向对准信息；

X向支路，包括第一偏振分束器、第一汇聚透镜及第二汇聚透镜，所述第一光信号经由所述偏振分束器分成X向零级次光信号及X向高级次光信号，所述X向零级次光信号经由第一汇聚透镜汇聚后出射，所述Y向高级光信号经由第四汇聚透镜汇聚后出射；以及

Y向支路，包括第二偏振分束器、第三汇聚透镜及第四汇聚透镜，所述第二信号经由所述第二偏振分束器分成Y向零级次光信号及Y向高级次光信号，所述Y向零级次光信号经由所述第三汇聚透镜汇聚后出射。

4.如权利要求3所述的自参考干涉对准系统，其特征在于，所述光学模块还包括多波长分路器，所述多波长分路器的输入端透过输入光纤接收所述第一、第二、第三、第四汇聚透镜汇聚后的X向零级次光信号、X向高级次光信号、Y向零级次光信号及Y向高级次光信号，并对所接收到的该些光信号进行多波长分离后经由输出光纤输入所述电子模块。

5.如权利要求1所述的自参考干涉对准系统，其特征在于，所述分束汇聚单元包括：偏振分束器、第一支路以及第二支路，所述光学模块出射的光学信号首先通过所述偏振分束器产生第一分束光信号及第二分束光信号，所述第一、第二分束光信号分别被分束到所述第一、第二支路中，所述第一第二支路均包括XY向分束器、X向支路及Y向支路，所述第一第二分束光信号经由所述XY向分束器后产生的携带X向对准信息、Y湘对准信息的光信号被分别分束到所述X向支路及Y向支路。

6.如权利要求5所述的自参考干涉对准系统，其特征在于所述光学模块还包括多波长分路器，所述X、Y向支路的光信号透过汇聚透镜汇聚后进入所述多波长分路器进行多波长分离后输入所述电子模块。

7.如权利要求3或5所述的自参考干涉对准系统，其特征在于，所述XY向分束器包括反射区域、透射区域和半透半反区域。

8.如权利要求7所述的自参考干涉对准系统，其特征在于，所述反射区域、透射区域和半透半反区域通过光学镀膜实现。

9.如权利要求1所述的自参考干涉对准系统，其特征在于，所述对准标记为二维光栅结构或二维菱形结构。

10.如权利要求1所述的自参考干涉对准系统，其特征在于，所述对准标记位于硅片划线槽中。

11.如权利要求1所述的自参考干涉对准系统，其特征在于，所述自参考干涉对准系统是沿着与所述X、Y向相交的第三方向对对准标记进行扫描，以同时获取该对准标记的X、Y向对准信息，其中，所述第三方向位于所述X、Y向定义的平面内。