[发明专利]排气警报解除方法有效
| 申请号： | 201310060637.5 | 申请日： | 2013-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN103191899B | 公开（公告）日： | 2017-06-23 |
| 发明（设计）人： | 龚大伟;张志慧 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/12;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种排气警报解除方法，将化学机械研磨设备的排气警报传感器旁路，同时，将对应于所述排气警报传感器的互锁的信号反转，从而使得软件显示正常，克服了误报警的问题，并避免了互锁触发而导致的设备异常现象，使得超声波清洗功能恢复正常，降低了对产品的影响，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 警报 解除 方法 | ||
【主权项】：
一种排气警报解除方法，改善软件更新后与硬件不匹配导致误报警的问题，其特征在于，包括：将化学机械研磨设备的排气警报传感器旁路；将对应于所述排气警报传感器的互锁的信号反转，所述互锁与3个用于控制化学原料填充和排液的第二终端相对应，每个第二终端皆包括第一触点、第二触点、第三触点及一接收器，在正常情况下所述第一触点和第三触点连通于所述接收器，进行反转时，使得每个第二终端的所述第一触点与所述接收器之间的连接导线断开，将第二触点通过导线与接收器连接。
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