[发明专利]排气警报解除方法

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，特别涉及一种化学机械研磨设备的排气警报解除方法。

背景技术

在半导体制造中，生产设备的优劣将很大程度上制约着工艺的优劣，在制造工艺日益进展时，设备由于其高价格并不能实时更换，那么通过更新设备的操作软件来提升设备的功能就成为一种较为折中的方法。

化学机械研磨是生产过程中必须的一道工序，型号为MIRRA ONTRAK的化学机械研磨设备同样遇到上述情况，该设备由于低版本的软件504D3H容易出现各种缺陷，例如与自动化程序（Equipment Automation Program，EAP）的通信会出现中断，或者信号异常，从而导致系统自动扣留产品（EAP hold lot）故需要将其软件版本升级至较高版本，例如PS58d0版本。然而升级后虽然能够避免低版本可能出现的漏洞，但由于PS58d0实则对应为新型号的设备，因此将会出现软件与硬件兼容性差的问题，引发一些误报警。

例如，该设备包括研磨区、液洗区及位于所述研磨区和液洗区之间的超声波清洗区，所述超声波清洗区具有一排气警报传感器，用于侦测排气是否正常。在版本升级后，新版本的软件中对所述排气警报传感器反馈来的信号是显示为异常，从而产生误报警，这将导致超声波清洗区不能被使用，因此不仅会浪费生产成本，同时增加了技术人员的劳动量，也不利于工艺的良好进展。

发明内容

本发明的目的是提供一种排气警报解除方法，改善软件更新后与硬件不匹配的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种排气警报解除方法，其特征在于，包括：

将所述化学机械研磨设备的排气警报传感器旁路；

将对应于所述排气警报传感器的互锁的信号反转。

可选的，对于所述的排气警报解除方法，所述旁路方法为在所述排气警报传感器中引入一保险丝。

可选的，对于所述的排气警报解除方法，所述排气警报传感器为对应于所述化学机械研磨设备中第一终端的传感器。

可选的，对于所述的排气警报解除方法，所述反转互锁的信号的方法为将连接对应所述互锁的多个第二终端的第一触点的导线连接于每个所述第二终端的第二触点。

可选的，对于所述的排气警报解除方法，所述多个第二终端还皆包括第三触点，所述每个第二终端的第一触电和第三触点或所述每个第二终端的第二触点和第三触点共同传输信号，以控制互锁。

可选的，对于所述的排气警报解除方法，所述第二触点与所述第三触点的距离小于所述第一触点与所述第三触点的距离。

本发明提供的排气警报解除方法，将化学机械研磨设备的排气警报传感器旁路，同时，将对应于所述排气警报传感器的互锁的信号反转，从而使得软件显示正常，克服了误报警的问题，并避免了互锁触发而导致的设备异常现象，使得超声波清洗功能恢复正常，降低了对产品的影响，提高了生产效率。

附图说明

图1为本发明实施例的排气警报解除方法的流程图；

图2为本发明实施例的排气警报解除方法中对排气警报传感器进行旁路的示意图；

图3为本发明实施例的排气警报解除方法中对与排气警报传感器相对应的互锁的信号进行反转的示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明排气警报解除方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，本发明附图均采用非常简化的形式，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

请参考图1，本发明实施例提供一种排气警报解除方法，用于软件版本与硬件不匹配的化学机械研磨设备，包括：

步骤S101，将所述化学机械研磨设备的排气警报传感器旁路；

步骤S102，将对应于所述排气警报传感器的互锁的信号反转。

具体的，请参考图2，本实施例以型号为MIRRA ONTRAK的化学机械研磨设备为例，所述排气警报传感器2经过信号线连接在第一终端（名为D I/O-6，用于设备内环境变动的信号传输）1的信号触点3上，所述排气警报传感器2进行侦测，并将侦测到的信号传递给所述第一终端1。实际上，在软件版本从504D3H升级到PS58d0后，软件对接收到的信号判断异常，例如在所述排气警报传感器2传递表示正常的信号时，软件会判定为排气异常，导致设备示警，使得超声波清洗功能不能使用。因此，本实施例将连接于所述第一终端1的排气警报传感器2进行旁路处理，使得软件能够显示正常，优选的，可以在所述排气警报传感器中引入一保险丝（fuse）4。