[发明专利]光扫描镜器件及其控制方法、利用该器件的图像描绘装置

摘要

本发明提供能够在不牺牲低耗电量、低电压、小型、大扫描角度的情况下提高性能的光扫描镜器件、其控制方法以及利用光扫描器件的图像描绘装置。该光扫描器件包括至少一个反射镜，且通过能够绕至少一个轴旋转的扭转梁将该反射镜连接在框构造中而成，该光扫描镜器件的特征在于，在反射镜的水平面内，沿着相对于反射镜旋转轴垂直的方向以旋转轴为中心而轴对称地具有至少一组悬臂梁，在该悬臂梁绕旋转轴旋转时的移动方向上具有静止时与悬臂梁平行地相对的固定电极，对应于一个悬臂梁，该固定电极由悬臂梁的自由端侧的至少一个吸附用固定电极和悬臂梁的固定端侧的至少一个旋转控制用固定电极构成，悬臂梁、吸附用固定电极、旋转控制用固定电极相互电分离。

主权项

一种光扫描镜器件，其层叠地具有可动电极基板和固定电极基板，所述可动电极基板是在一片基板内形成至少一个反射镜、围绕在所述反射镜的外周的框部、为了使所述反射镜能够仅绕至少一个轴旋转而将所述反射镜和所述框构造一体地连接而形成的扭转梁、以及安装在所述反射镜的一部分上的可动电极而成的；所述固定电极基板与所述可动电极基板相对地配置，且所述固定电极基板由在一片基板内与所述可动电极相对地配置的固定电极构成，所述光扫描镜器件的特征在于，构成所述可动电极基板的所述可动电极是具有以所述一个轴为中心而轴对称地配置的至少一组悬臂梁的悬臂梁型可动电极，构成所述固定电极基板的所述固定电极包括相互电分离的吸附用固定电极和旋转控制用固定电极，所述吸附用固定电极将所述悬臂梁型可动电极的自由端侧的电极吸附并固定，所述旋转控制用固定电极吸附所述悬臂梁型可动电极来控制所述反射镜的旋转。