[发明专利]光扫描镜器件及其控制方法、利用该器件的图像描绘装置

权利要求书

1.一种光扫描镜器件，其层叠地具有可动电极基板和固定电极基板，

所述可动电极基板是在一片基板内形成至少一个反射镜、围绕在所述反射镜的外周的框部、为了使所述反射镜能够仅绕至少一个轴旋转而将所述反射镜和所述框构造一体地连接而形成的扭转梁、以及安装在所述反射镜的一部分上的可动电极而成的；

所述固定电极基板与所述可动电极基板相对地配置，且所述固定电极基板由在一片基板内与所述可动电极相对地配置的固定电极构成，所述光扫描镜器件的特征在于，

构成所述可动电极基板的所述可动电极是具有以所述一个轴为中心而轴对称地配置的至少一组悬臂梁的悬臂梁型可动电极，

构成所述固定电极基板的所述固定电极包括相互电分离的吸附用固定电极和旋转控制用固定电极，所述吸附用固定电极将所述悬臂梁型可动电极的自由端侧的电极吸附并固定，所述旋转控制用固定电极吸附所述悬臂梁型可动电极来控制所述反射镜的旋转。

2.根据权利要求1所述的光扫描镜器件，其特征在于，

所述固定电极基板的所述吸附用固定电极配置在比所述旋转控制用固定电极更远离所述一个轴的位置。

3.根据权利要求2所述的光扫描镜器件，其特征在于，

在所述可动电极基板的面上、且在与层叠有所述固定电极基板的面不同的面上进一步层叠至少与所述反射镜相对应的部分为透明的基板，由此将所述反射镜气密密封。

4.根据权利要求3所述的光扫描镜器件，其特征在于，

为了将所述可动电极基板的所述可动电极与所述固定电极基板的所述吸附用固定电极和所述吸附用固定电极在该器件的外部电连接，在所述固定电极基板的一部分形成有贯通电极。

5.根据权利要求1所述的光扫描镜器件，其特征在于，

在所述可动电极基板上以所述一个轴为中心而轴对称地设置有与所述可动电极不同的第2可动电极，并且，在所述固定电极基板上，在与所述第2可动电极相对的位置形成第2旋转控制用固定电极。

6.根据权利要求1所述的光扫描镜器件，其特征在于，

在所述悬臂梁型可动电极与所述固定电极相接触的表面的至少一方的面上设置有突起状的绝缘膜。

7.根据权利要求1所述的光扫描镜器件，其特征在于，

在所述反射镜的一部分组装测量所述反射镜的旋转角度的元件。

8.一种光扫描镜器件的控制方法，其是权利要求1所述的光扫描镜器件的控制方法，其特征在于，

在所述悬臂梁型可动电极和所述吸附用固定电极之间施加电压，借助静电力将该悬臂梁型可动电极的自由端侧吸附、固定于所述吸附用固定电极，由此所述悬臂梁型可动电极成为能够从所述自由端侧的狭窄的区域到所述旋转控制用固定电极侧的宽的区域发生变化的状态，

通过使施加于所述旋转控制用固定电极的电压逐渐变化，从而使所述旋转控制用固定电极和所述悬臂梁型可动电极吸附，借助该吸附力，产生使所述反射镜绕所述一个轴旋转的转矩，由此使该反射镜旋转。

9.根据权利要求8所述的光扫描镜器件的控制方法，其特征在于，

在向所述反射镜射入了激光的状态下使该反射镜旋转，由此使激光进行扫描而描绘图像。

10.根据权利要求9所述的光扫描镜器件的控制方法，其特征在于，

在所述反射镜的一部分组装测量所述反射镜的旋转角度的元件，根据所述元件的输出来控制向所述固定电极的驱动电压。

11.一种图像描绘装置，其至少具有射出光束状的光的光源和将来自所述光源的光束状的光反射的反射镜，所述图像描绘装置借助于由所述反射镜进行的反射而使所述光束状的光进行扫描，由此来描绘图像，所述图像描绘装置的特征在于，

在所述反射镜中使用权利要求1～7所述的光扫描镜器件。